Thermal EMMI(Thermal Emission Microscopy)是一種利用半導體器件在工作過程中微弱熱輻射和光發(fā)射信號進行失效點定位的先進顯微技術(shù)。它通過高靈敏度探測器捕捉納瓦級別的紅外信號,并結(jié)合光學放大系統(tǒng)實現(xiàn)微米甚至亞微米級的空間分辨率。相比傳統(tǒng)的電子探針或電性測試,Thermal EMMI在非接觸、無損檢測方面有明顯優(yōu)勢,能夠在器件通電狀態(tài)下直接觀測局部發(fā)熱熱點或電流泄漏位置。這種技術(shù)在先進制程節(jié)點(如 5nm、3nm)中尤為關(guān)鍵,因為器件結(jié)構(gòu)復雜且供電電壓低,任何細微缺陷都會在熱輻射分布上體現(xiàn)。通過Thermal EMMI,工程師能夠快速鎖定失效區(qū)域,大幅減少剖片和反復驗證的時間,為芯片研發(fā)和生產(chǎn)帶來高效的故障分析手段。熱紅外顯微鏡幫助工程師分析電子設(shè)備過熱的根本原因 。科研用熱紅外顯微鏡設(shè)備
Thermal EMMI 在第三代半導體器件檢測中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。第三代半導體以氮化鎵、碳化硅等材料,具有耐高溫、耐高壓、高頻的特性,廣泛應用于新能源汽車、5G 通信等領(lǐng)域。但這類器件在制造和工作過程中,容易因材料缺陷或工藝問題產(chǎn)生漏電和局部過熱,影響器件可靠性。thermal emmi 憑借其高靈敏度的光信號和熱信號檢測能力,能定位這些缺陷。例如,在檢測氮化鎵功率器件時,可同時捕捉漏電產(chǎn)生的微光和局部過熱信號,幫助工程師分析缺陷產(chǎn)生的原因,優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)和制造工藝,提升第三代半導體器件的質(zhì)量。科研用熱紅外顯微鏡設(shè)備熱紅外顯微鏡對電子元件進行無損熱檢測,保障元件完整性 。
熱紅外顯微鏡在半導體IC裸芯片的熱檢測中具有不可替代的作用。裸芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)高度精密、集成度極高,即便是微小的熱異常,也可能影響性能甚至引發(fā)失效,因此精確的熱檢測至關(guān)重要。
依托非接觸式成像原理,熱紅外顯微鏡能夠清晰呈現(xiàn)芯片工作過程中的熱分布與溫度變化,快速定位熱點區(qū)域。這些熱點往往源于電路設(shè)計缺陷、局部電流過大或器件老化等問題。通過對熱點檢測與分析,工程師能夠及時發(fā)現(xiàn)潛在故障風險,為優(yōu)化芯片設(shè)計和改進制造工藝提供有力依據(jù)。
此外,熱紅外顯微鏡還能精確測量裸芯片內(nèi)部關(guān)鍵半導體結(jié)點的溫度(結(jié)溫)。結(jié)溫是評估芯片性能與可靠性的重要指標,過高的結(jié)溫不僅會縮短器件壽命,還可能影響其長期穩(wěn)定性。憑借高空間分辨率的成像能力,該技術(shù)能夠為研發(fā)人員提供詳盡的熱特性數(shù)據(jù),幫助制定高效的散熱方案,從而提升芯片的整體性能與可靠性。
在半導體失效分析(Failure Analysis, FA)流程中,Thermal EMMI 是承上啟下的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。此前,工程師需要依靠大量電性參數(shù)測試、掃描聲學顯微鏡或X射線等方法逐步縮小可疑范圍,但對于微小短路、漏電或局部發(fā)熱缺陷,這些方法往往難以直接定位。Thermal EMMI 能夠在樣品上電并模擬實際工作條件的同時,捕捉缺陷點產(chǎn)生的瞬態(tài)熱信號,實現(xiàn)快速、直觀的可視化定位。尤其是在 BGA 封裝、多層 PCB 以及三維封裝(3D IC)等復雜結(jié)構(gòu)中,Thermal EMMI 的穿透力和高分辨率成像能力能縮短分析周期。此外,該技術(shù)還能與鎖相紅外熱成像(Lock-in Thermography)結(jié)合,提升弱信號檢測的信噪比,讓難以察覺的微小缺陷“現(xiàn)形”,為后續(xù)的物理剖片和根因分析提供依據(jù)。熱紅外顯微鏡助力科研人員研究新型材料的熱穩(wěn)定性與熱性能 。
芯片出問題不用慌!致晟光電專門搞定各類失效難題~不管是靜電放電擊穿的芯片、過壓過流燒斷的導線,還是過熱導致的晶體管損傷、熱循環(huán)磨斷的焊點,哪怕是材料老化引發(fā)的漏電、物理磕碰造成的裂紋,我們都有辦法定位。致晟的檢測設(shè)備能捕捉到細微的失效信號,從電氣應力到熱力學問題,從機械損傷到材料缺陷,一步步幫你揪出“病根”,還會給出詳細的分析報告。不管是研發(fā)時的小故障,還是量產(chǎn)中的質(zhì)量問題,交給致晟,讓你的芯片難題迎刃而解~有失效分析需求?隨時來找我們呀!??工程師們常常面對這樣的困境:一塊價值百萬的芯片突然“停工”,傳統(tǒng)檢測手段輪番上陣卻找不到故障點。科研用熱紅外顯微鏡設(shè)備
檢測 PCB 焊點、芯片鍵合線的接觸電阻異常,避免虛焊導致的瞬態(tài)過熱??蒲杏脽峒t外顯微鏡設(shè)備
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)技術(shù)不僅能夠?qū)崿F(xiàn)電子器件故障的精確定位,更在性能評估、熱管理優(yōu)化與可靠性分析等方面展現(xiàn)出獨特價值。通過高分辨率的熱成像手段,工程師可直觀獲取器件內(nèi)部的熱點分布圖譜,深入分析其熱傳導特性,并據(jù)此優(yōu)化散熱結(jié)構(gòu)設(shè)計,有效提升系統(tǒng)的運行穩(wěn)定性與使用壽命。同時,該技術(shù)還能實時監(jiān)測電路功耗分布及異常發(fā)熱區(qū)域,構(gòu)建動態(tài)熱特征數(shù)據(jù)庫,為早期故障預警和預防性維護提供強有力的數(shù)據(jù)支撐,從源頭上降低潛在失效風險,是實現(xiàn)高性能、高可靠電子系統(tǒng)不可或缺的技術(shù)手段之一??蒲杏脽峒t外顯微鏡設(shè)備