Thermal（熱分析/熱成像）指的是通過紅外熱成像（如ThermalEMMI或熱紅外顯微鏡）等方式，檢測芯片發(fā)熱異常的位置。通常利用的是芯片在工作時因電流泄漏或短路而產生的局部溫升。常用于分析如：漏電、短路、功耗異常等問題。EMMI（光發(fā)射顯微成像EmissionMicroscopy）是利用芯片在失效時（如PN結擊穿、漏電）會產生微弱的光發(fā)射現象（多為近紅外光），通過光電探測器捕捉這類自發(fā)光信號來確定失效點。更敏感于電性失效，如ESD擊穿、閂鎖等。面對高密度集成電路，Thermal EMMI 憑借高空間分辨率，定位微米級熱異常區(qū)域。自銷微光顯微鏡市場價

微光顯微鏡下可以產生亮點的缺陷，如：1.漏電結(JunctionLeakage);2.接觸毛刺(Contactspiking);3.熱電子效應(Hotelectrons);4.閂鎖效應(Latch-Up);5.氧化層漏電(Gateoxidedefects/Leakage(F-Ncurrent));6.多晶硅晶須(Poly-siliconfilaments);7.襯底損傷(Substratedamage);8.物理損傷(Mechanicaldamage)等。當然，部分情況下也會出現樣品本身的亮點，如：1.Saturated/Activebipolartransistors;2.SaturatedMOS/DynamicCMOS;3.Forwardbiaseddiodes/Reverse；等出現亮點時應注意區(qū)分是否為這些情況下產生的亮點另外也會出現偵測不到亮點的情況，如：1.歐姆接觸；2.金屬互聯短路；3.表面反型層；4.硅導電通路等。若一些亮點被遮蔽的情況，即為BuriedJunctions及Leakagesitesundermetal，這種情況可以嘗試采用backside模式，但是只能探測近紅外波段的發(fā)光，且需要減薄及拋光處理。半導體失效分析微光顯微鏡成像儀捕捉的信號極其微弱，通常在納瓦級（nW）甚至皮瓦級（pW），因此對系統(tǒng)的探測能力和信噪比要求極高；

該設備搭載的 - 80℃深制冷型 InGaAs 探測器與高分辨率顯微物鏡形成黃金組合，從硬件層面確保了超高檢測靈敏度的穩(wěn)定輸出。這種良好的性能使其能夠突破微光信號檢測的技術瓶頸，即便在微弱漏電流環(huán)境下，依然能捕捉到納米級的極微弱發(fā)光信號，將傳統(tǒng)設備難以識別的細微缺陷清晰呈現。作為半導體制造領域的關鍵檢測工具，它為質量控制與失效分析提供了可靠的解決方案：在生產環(huán)節(jié)，可通過實時監(jiān)測提前發(fā)現潛在的漏電隱患，幫助企業(yè)從源頭把控產品質量；在失效分析階段，借助高靈敏度成像技術，能快速鎖定漏電缺陷的位置，并支持深度溯源分析，為工程師優(yōu)化生產工藝提供精密的數據支撐。

隨著電子器件結構的日益復雜化，檢測需求也呈現出多樣化趨勢。科研實驗室往往需要對材料、器件進行深度探索，而工業(yè)生產線則更注重檢測效率與穩(wěn)定性。微光顯微鏡在設計上充分考慮了這兩方面需求，通過模塊化配置實現了多種探測模式的靈活切換。在科研應用中，微光顯微鏡可以結合多光譜成像、信號增強處理等功能，幫助研究人員深入剖析器件的物理機理。而在工業(yè)領域，它則憑借快速成像與高可靠性，滿足大規(guī)模檢測的生產要求。更重要的是，微光顯微鏡在不同模式下均保持高靈敏度與低噪聲水平，確保了結果的準確性和可重復性。這種跨場景的兼容性，使其不僅成為高校和研究機構的有效檢測工具，也成為半導體、光電與新能源產業(yè)生產環(huán)節(jié)中的重要設備。微光顯微鏡的適配能力，為科研與工業(yè)之間搭建了高效銜接的橋梁。晶體管漏電點清晰呈現。

借助EMMI對芯片進行全區(qū)域掃描，技術人員在短時間內便在特定功能模塊檢測到光發(fā)射信號。結合電路設計圖和芯片版圖信息，進一步分析顯示，該故障點位于兩條相鄰鋁金屬布線之間，由于絕緣層局部損傷而形成短路。這一精細定位為后續(xù)的故障修復及工藝改進提供了可靠依據，同時也為研發(fā)團隊優(yōu)化設計、提升芯片可靠性提供了重要參考。通過這種方法，微光顯微鏡在芯片失效分析中展現出高效、可控且直觀的應用價值，為半導體器件的質量保障提供了有力支持。微光顯微鏡不斷迭代升級，推動半導體檢測邁向智能化。顯微微光顯微鏡探測器

對于靜電放電損傷等電缺陷，微光顯微鏡可通過光子發(fā)射準確找到問題。自銷微光顯微鏡市場價

EMMI的本質只是一臺光譜范圍廣，光子靈敏度高的顯微鏡。

但是為什么EMMI能夠應用于IC的失效分析呢？

原因就在于集成電路在通電后會出現三種情況：

1.載流子復合；2.熱載流子；3.絕緣層漏電。

當這三種情況發(fā)生時集成電路上就會產生微弱的熒光，這時EMMI就能捕獲這些微弱熒光，這就給了EMMI一個應用的機會而在IC的失效分析中，我們給予失效點一個偏壓產生熒光，然后EMMI捕獲電流中產生的微弱熒光。原理上，不管IC是否存在缺陷，只要滿足其機理在EMMI下都能觀測到熒光。 自銷微光顯微鏡市場價