氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中，經(jīng)過不斷的改進發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國質(zhì)譜檢漏儀的檢測精度已經(jīng)達到了10-14Pa·m3/s，國外質(zhì)譜檢漏儀檢測精度達到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)荷比（m/e）的離子在磁場中受洛倫茲力不同而做圓周運動半徑不同的原理，將不同質(zhì)荷比的離子分開，在相應(yīng)半徑上收集到示蹤氣體，如果被檢件出現(xiàn)泄漏，則會檢測到示蹤氣體離子，再通過相應(yīng)計算得出漏率大小。氦氣在空氣中的含量低，又是惰性氣體，使其成為了常用的示蹤氣體。利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏的方法很多，較早的是噴吹法，以后逐漸出現(xiàn)了氦罩法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、背壓法及前級泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)方法。標準漏孔的材質(zhì)選擇影響其使用壽命長短 。無錫正壓標準漏孔應(yīng)用

JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準用標準器（鹵素標準漏孔）的可溯源范圍相適應(yīng)，待發(fā)布的正壓漏孔校準規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實際測量范圍（1-10）g/a對應(yīng)。測量標準：測量標準為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標準漏孔，如表所示，鹵素標準漏孔應(yīng)具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個標準漏孔，一個標準漏孔對應(yīng)一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應(yīng)的標準漏孔。湖南漏孔參數(shù)漏孔大小直接決定泄漏量及影響程度。

不同的氣體對于標準漏孔的泄漏率有著一定影響，通常校準以氮氣或氦氣為介質(zhì)，實際使用時需要根據(jù)檢測氣體的性質(zhì)來進行修正，提高檢測結(jié)果的準確性。標準漏孔的安裝方式應(yīng)該符合操作規(guī)程，以確保連接緊密、無額外的泄漏，避免因安裝不當影響校準或者檢測結(jié)果。部分漏孔的設(shè)計有專屬接口，方便與不同設(shè)備對接。隨著檢漏技術(shù)的發(fā)展，標準漏孔的性能不斷提升，出現(xiàn)了可調(diào)節(jié)泄漏率、智能化監(jiān)控等新型產(chǎn)品，滿足了更復(fù)雜場景下的計量需求。

滲氦型標準漏孔是利用氦氣對石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感；長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定；漏率可以做得很小。滲氦型標準漏孔的充裝氣體為氦氣，其漏率范圍一般在10負5-10負13Pa·m3/s之間。此外，滲氦型標準漏孔的示值允許偏差為±15%，溫度補償約為3%/°C，并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性，出口閥門為手動(選配)，接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制，出口為真空，可重復(fù)充氣。年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異，例如，對于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于10%/y;對于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于3%/y;以此類推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于0.1%/y。標準漏孔老化會導(dǎo)致漏率發(fā)生明顯變化 。

氦氣真空標準漏孔真空漏孔的選用主要包括以下幾個技術(shù)指標：漏率值和示漏氣體：主要由檢漏工藝和需求決定，說明的是在檢漏儀內(nèi)置漏孔一般為2×10-8Pa.m3/s的氦漏率。漏孔泄漏方式，主要分為滲氦型和通道型。一般滲氦型漏孔主要用作帶氦氣室，并且氦氣漏率在（10-10～10-7）Pa.m3/s的標準漏孔，檢漏儀內(nèi)置漏孔大多采用該型號。通道型漏孔相對滲氦型漏孔，應(yīng)用會更廣，特別是非標定制的模擬漏孔。還具有可以用高壓容器，溫度系數(shù)小等優(yōu)勢。是否帶氦氣/氫氮混合氣室。主要由標準漏孔使用方式?jīng)Q定。帶氦氣室具有漏率穩(wěn)定/恒定的特點，而不帶氦氣室往往用作模擬漏孔，模擬允許漏率指標的被檢工件，用來保證檢漏系統(tǒng)的定量需求。接口方式和外形尺寸，是指氣源加壓端接口和漏氣端接口。主要根據(jù)漏孔使用方式確定。標準漏孔能輔助判斷檢漏儀的工作狀態(tài)。福建滲氦標準漏孔范圍

標準漏孔需詳細記錄每次使用的相關(guān)情況。無錫正壓標準漏孔應(yīng)用

可調(diào)通道型漏孔是一種具有特定技術(shù)、規(guī)格和特點的漏孔，?它是屬于實漏型漏孔，?可調(diào)通道型其漏孔元件是通過物理節(jié)流形成的漏氣通道。?這種漏孔能夠通過所有氣體成分，?因此在使用時需要使用純氣體以獲得所需氣體的漏率。?可調(diào)通道型漏孔產(chǎn)品的應(yīng)用：氦質(zhì)譜檢漏真空和正壓吸法校準、模擬實際漏孔漏率，實際漏孔漏率的確定?？烧{(diào)通道型漏孔產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于氣體分析、?真空技術(shù)、?流量測量等領(lǐng)域，?以及產(chǎn)品的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控。無錫正壓標準漏孔應(yīng)用