氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí)，這個(gè)分流比會(huì)有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說(shuō)明這臺(tái)檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的，可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購(gòu)置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測(cè)工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購(gòu)置一個(gè)接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過(guò)也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購(gòu)?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開(kāi)放式漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔是計(jì)量檢測(cè)工作的重要基礎(chǔ)器具 。湖南鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔偏差

檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔目前通常是廠家提供的鋁制滲氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔， 漏率一般是10-8 Pa·m3/s量級(jí)， 東貝真空制作的內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是采用微通道毛細(xì)管的通道型漏孔。檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔的特點(diǎn)是抗震抗摔，使用壽命較長(zhǎng)：檢漏儀自帶漏孔為滲氦漏孔，泄漏元件是玻璃滲透膜，非常容易破碎損壞，而且不能充氣重復(fù)使用，廠家建議一般2年更換一次漏孔，上海東貝真空采用的微通道毛細(xì)管通道型漏孔，抗震抗摔，使用壽命一般為滲透膜材質(zhì)漏孔幾倍甚至更長(zhǎng)。蘇州正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔生產(chǎn)廠家標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)使用環(huán)境的真空度有要求。

工業(yè)檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)中，標(biāo)準(zhǔn)漏孔是不可或缺的工具。比如用于管道泄漏檢測(cè)的儀器，出廠前需通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)：將儀器探測(cè)頭對(duì)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，若顯示的泄漏量與標(biāo)準(zhǔn)值一致，說(shuō)明儀器精度符合要求。這種校準(zhǔn)能減少檢測(cè)誤差，避免因設(shè)備不準(zhǔn)導(dǎo)致的漏檢或誤判。在密封性能測(cè)試中，標(biāo)準(zhǔn)漏孔可輔助驗(yàn)證測(cè)試系統(tǒng)的可靠性。例如檢測(cè)密封容器的氣密性時(shí)，先通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏孔向系統(tǒng)內(nèi)注入定量氣體，觀察壓力變化是否符合預(yù)期，以此確認(rèn)測(cè)試裝置本身無(wú)泄漏，再進(jìn)行容器檢測(cè)，確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。這種方法在電子元件、醫(yī)療器械等對(duì)密封性要求較高的領(lǐng)域應(yīng)用較多。標(biāo)準(zhǔn)漏孔還能用于檢測(cè)人員的技能培訓(xùn)。新手可通過(guò)觀察標(biāo)準(zhǔn)漏孔的泄漏狀態(tài)，熟悉檢測(cè)儀器的操作流程與判斷標(biāo)準(zhǔn)，比如練習(xí)用檢漏儀識(shí)別不同滲漏速率下的信號(hào)特征，積累對(duì) “正?！?與 “異?！?泄漏的判斷經(jīng)驗(yàn)，從而在實(shí)際檢測(cè)中更準(zhǔn)確地識(shí)別真實(shí)漏孔。

氦氣真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔真空漏孔的選用主要包括以下幾個(gè)技術(shù)指標(biāo)：漏率值和示漏氣體：主要由檢漏工藝和需求決定，說(shuō)明的是在檢漏儀內(nèi)置漏孔一般為2×10-8Pa.m3/s的氦漏率。漏孔泄漏方式，主要分為滲氦型和通道型。一般滲氦型漏孔主要用作帶氦氣室，并且氦氣漏率在（10-10～10-7）Pa.m3/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，檢漏儀內(nèi)置漏孔大多采用該型號(hào)。通道型漏孔相對(duì)滲氦型漏孔，應(yīng)用會(huì)更廣，特別是非標(biāo)定制的模擬漏孔。還具有可以用高壓容器，溫度系數(shù)小等優(yōu)勢(shì)。是否帶氦氣/氫氮混合氣室。主要由標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用方式?jīng)Q定。帶氦氣室具有漏率穩(wěn)定/恒定的特點(diǎn)，而不帶氦氣室往往用作模擬漏孔，模擬允許漏率指標(biāo)的被檢工件，用來(lái)保證檢漏系統(tǒng)的定量需求。接口方式和外形尺寸，是指氣源加壓端接口和漏氣端接口。主要根據(jù)漏孔使用方式確定。標(biāo)準(zhǔn)漏孔可用于檢漏系統(tǒng)的調(diào)試與驗(yàn)證 。

可調(diào)通道型漏孔還可以支持定制多種樣式的規(guī)格型號(hào)，?如指定壓力還有漏率，?具有量程范圍廣、?真空響應(yīng)快、?溫度補(bǔ)償系數(shù)低、?穩(wěn)定性非常好、?抗震、?抗摔、?防堵塞性能良好等優(yōu)點(diǎn)，?適合用于各種檢漏設(shè)備和泄漏檢測(cè)儀的校準(zhǔn)使用，?提高檢漏效率和準(zhǔn)確性?？烧{(diào)漏率標(biāo)準(zhǔn)漏孔為通道型漏孔，可以跨越3個(gè)漏率量級(jí)，既可以作為真空漏孔，也可以作為正壓漏孔，實(shí)現(xiàn)了一個(gè)漏孔同3個(gè)校準(zhǔn)量級(jí)的優(yōu)越性能，極大的方便了客戶的使用。標(biāo)準(zhǔn)漏孔受氣流影響需穩(wěn)定狀態(tài)使用 。湖南可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)漏孔

標(biāo)準(zhǔn)漏孔適用于多種氣體介質(zhì)的檢漏場(chǎng)景。湖南鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔偏差

氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中，經(jīng)過(guò)不斷的改進(jìn)發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國(guó)質(zhì)譜檢漏儀的檢測(cè)精度已經(jīng)達(dá)到了10-14Pa·m3/s，國(guó)外質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度達(dá)到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)荷比（m/e）的離子在磁場(chǎng)中受洛倫茲力不同而做圓周運(yùn)動(dòng)半徑不同的原理，將不同質(zhì)荷比的離子分開(kāi)，在相應(yīng)半徑上收集到示蹤氣體，如果被檢件出現(xiàn)泄漏，則會(huì)檢測(cè)到示蹤氣體離子，再通過(guò)相應(yīng)計(jì)算得出漏率大小。氦氣在空氣中的含量低，又是惰性氣體，使其成為了常用的示蹤氣體。利用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏的方法很多，較早的是噴吹法，以后逐漸出現(xiàn)了氦罩法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、背壓法及前級(jí)泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)方法。湖南鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔偏差