控制精度是衡量精密環(huán)控設(shè)備的關(guān)鍵指標(biāo)，通常以溫度和濕度的偏差值表示，如 ±0.1℃和 ±1% RH，偏差值越小，精密環(huán)控設(shè)備的控制能力越強(qiáng)。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的精密環(huán)控設(shè)備運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，能達(dá)到 0.1% 的控制輸出精度。同時(shí)，精密環(huán)控設(shè)備內(nèi)部的溫濕度均勻性也很重要，能確保各個(gè)位置的物品處于相同環(huán)境條件；而且在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中，精密環(huán)控設(shè)備的溫濕度控制需保持穩(wěn)定，波動(dòng)范圍越小越好，像極測(cè)的設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。  極測(cè)（南京）高精密水冷冷凍水機(jī)組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準(zhǔn)確測(cè)量實(shí)驗(yàn)艙內(nèi)實(shí)時(shí)的溫濕度。高精密溫控設(shè)備智能化

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，溫度波動(dòng)是導(dǎo)致芯片缺陷的關(guān)鍵因素之一：

蝕刻與沉積環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動(dòng)控制在±0.01℃以?xún)?nèi)，若溫度漂移超過(guò)閾值，可能導(dǎo)致刻蝕深度不均、薄膜應(yīng)力開(kāi)裂等問(wèn)題；

晶圓生長(zhǎng)與加工：硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程中，溫度梯度變化會(huì)引起晶格缺陷，影響晶圓電學(xué)性能；

芯片測(cè)試環(huán)節(jié)：環(huán)境溫度波動(dòng)可能導(dǎo)致測(cè)試儀器誤差增大，造成芯片分選誤判。極測(cè)精密水冷冷凍水機(jī)組以±0.001℃控溫精度（遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）及動(dòng)態(tài)負(fù)載適應(yīng)能力，精zhun解決上述痛點(diǎn)，成為半導(dǎo)體工藝的“溫度守護(hù)者”。 0.001精密溫控箱潔凈室內(nèi)的溫度波動(dòng)可能會(huì)導(dǎo)致晶圓材料的物理性質(zhì)發(fā)生變化，影響生產(chǎn)精度。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動(dòng)控制。擁有全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能針對(duì)用戶(hù)的個(gè)性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢(xún)，且配備自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)，確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行無(wú)憂(yōu)。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過(guò)精確控溫實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉(cāng)內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達(dá)成溫濕度及潔凈度要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，通過(guò)空氣快速循環(huán)過(guò)濾帶走余熱，使溫度波動(dòng)保持在極低數(shù)值（關(guān)鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過(guò)多級(jí)控溫（先經(jīng)表冷盤(pán)降溫，再由多級(jí)電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級(jí)至 ±0.002℃。

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測(cè)量精度的首要因素。極測(cè)精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動(dòng)控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測(cè)量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學(xué)鏡頭上，將造成缺陷或信號(hào)干擾。極測(cè)環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級(jí)的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備提供干凈的環(huán)境，保護(hù)昂貴的光學(xué)組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。支持根據(jù)您設(shè)備的特定型號(hào)和工藝要求進(jìn)行非標(biāo)定制，匹配不同半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備的精密需求。設(shè)備智能管理系統(tǒng)提供7x24小時(shí)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)控與記錄，所有環(huán)境參數(shù)一目了然，數(shù)據(jù)可追溯，為質(zhì)量分析和故障排查提供堅(jiān)實(shí)依據(jù)。極測(cè)（南京）深憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，為高duan半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)精密環(huán)控系統(tǒng)。

若需要對(duì)溫濕度數(shù)據(jù)進(jìn)行長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)和分析，選擇具有數(shù)據(jù)記錄與存儲(chǔ)功能的精密環(huán)控設(shè)備很有必要，部分設(shè)備還可通過(guò) USB、以太網(wǎng)等接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)或云端。極測(cè)精密溫控設(shè)備具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢(xún)功能，實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線(xiàn)，數(shù)據(jù)自動(dòng)保存并支持隨時(shí)以表格形式導(dǎo)出，設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等信息也同步記錄，方便人員進(jìn)行全mian的數(shù)據(jù)追溯和深入分析。遠(yuǎn)程監(jiān)控與報(bào)警功能也很實(shí)用，通過(guò)手機(jī)、電腦等設(shè)備可隨時(shí)隨地監(jiān)控精密環(huán)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，當(dāng)溫濕度超出設(shè)定范圍或設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，報(bào)警功能能及時(shí)通知用戶(hù)，便于及時(shí)處理。極測(cè)的設(shè)備一旦出現(xiàn)故障，實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理，蕞大程度減少設(shè)備故障對(duì)科研進(jìn)度或生產(chǎn)的影響。極測(cè)（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、電子信息、光學(xué)儀器、精密制造、新能源等行業(yè)提供高精密環(huán)境解決方案。電子顯微鏡精密溫控穩(wěn)定性

適用于醫(yī)療設(shè)備生產(chǎn)中的冷卻需求，如激光醫(yī)療設(shè)備、低溫生物樣本儲(chǔ)存等，同時(shí)低噪設(shè)計(jì)可滿(mǎn)足醫(yī)院環(huán)境要求。高精密溫控設(shè)備智能化

極測(cè)（南京）專(zhuān)注精密環(huán)境控制解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿(mǎn)足用戶(hù)不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)處于快速發(fā)展與技術(shù)迭代的關(guān)鍵期，本土供應(yīng)鏈的完善與升級(jí)至關(guān)重要。極測(cè)（南京）技術(shù)此次業(yè)績(jī)表現(xiàn)，不僅標(biāo)志著公司在市場(chǎng)拓展與業(yè)務(wù)運(yùn)營(yíng)上實(shí)現(xiàn)突破，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，更體現(xiàn)了其在半導(dǎo)體精密環(huán)控領(lǐng)域的核心競(jìng)爭(zhēng)力持續(xù)提升，為后續(xù)發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。高精密溫控設(shè)備智能化