極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司注重設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性。通過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)和優(yōu)化設(shè)計(jì)，確保設(shè)備在長時(shí)間運(yùn)行過程中保持穩(wěn)定性能，減少故障發(fā)生的概率。同時(shí)，極測(cè)還提供完善的售后服務(wù)，及時(shí)響應(yīng)客戶的需求，為客戶解決設(shè)備使用過程中遇到的問題。 作為精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，極測(cè)（南京）始終將守護(hù)半導(dǎo)體制造精度作為使命。憑借前列的技術(shù)、可靠的產(chǎn)品和高質(zhì)量的服務(wù)，極測(cè)正在成為半導(dǎo)體制造企業(yè)信賴的合作伙伴，為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。例如，光刻工藝中，微小的溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致曝光位置的漂移，進(jìn)而影響線路的精確度。浙江精密儀器精密溫控

半導(dǎo)體制造中鍵合設(shè)備對(duì)環(huán)境要求極高，需在恒溫、恒濕、高潔凈的環(huán)境中運(yùn)行，同時(shí)嚴(yán)格控制振動(dòng)與靜電。這些要求旨在確保鍵合界面的材料活性穩(wěn)定、設(shè)備機(jī)械精度達(dá)標(biāo)，避免因溫濕度波動(dòng)導(dǎo)致的鍵合偏差、顆粒污染引發(fā)的界面缺陷或靜電損壞芯片，從而保障微米級(jí)至亞微米級(jí)鍵合精度及產(chǎn)品良率與可靠性。 精密潔凈間的主柜體為內(nèi)部精密組件構(gòu)筑起穩(wěn)固的運(yùn)作空間；依托高精密控溫技術(shù)，以0.1%的精密控制輸出精度。此外，精密潔凈間設(shè)備配備的氣流循環(huán)系統(tǒng)，通過風(fēng)機(jī)驅(qū)動(dòng)氣流定向循環(huán)，結(jié)合高效潔凈過濾器，不僅能確保設(shè)備內(nèi)部溫度均勻分布，更能達(dá)到百級(jí)以上的超高潔凈標(biāo)準(zhǔn)，工作區(qū)域潔凈度蕞高優(yōu)于ISO class3，為半導(dǎo)體光刻機(jī)、鍵合設(shè)備等對(duì)環(huán)境要求嚴(yán)苛的精密儀器，打造了近乎完美的研發(fā)生產(chǎn)環(huán)境。寧夏精密溫控平臺(tái)極測(cè)（南京）高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司采用相對(duì)濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn)，包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級(jí)測(cè)溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計(jì)方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計(jì)思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動(dòng)處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時(shí)采用多級(jí)控溫，將溫度精度逐步提升。針對(duì)光路部分設(shè)計(jì)密閉防護(hù)罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風(fēng)速。對(duì)于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級(jí)提升至 10 級(jí)，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測(cè)量誤差從 400 降低至 4。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測(cè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備（如電子顯微鏡、膜厚測(cè)量儀、OCD量測(cè)等）自身對(duì)運(yùn)行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細(xì)微波動(dòng)，都會(huì)引入測(cè)量誤差。 除整體環(huán)境外，半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備通常配備高精度光學(xué)成像器件（廣義上的“照相機(jī)”），其中光源，電子控制單元，運(yùn)動(dòng)部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源，蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性，以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司深刻理解這一需求，憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，專為高duan半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)精密環(huán)控系統(tǒng)，做好設(shè)備配套。系統(tǒng)由設(shè)備主柜體（設(shè)備維護(hù)結(jié)構(gòu)模塊）、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對(duì)局部發(fā)熱點(diǎn)進(jìn)行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等，為半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備打造精密穩(wěn)定，恒溫潔凈的運(yùn)行環(huán)境。極測(cè)（南京）高精密水冷冷凍水機(jī)組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準(zhǔn)確測(cè)量實(shí)驗(yàn)艙內(nèi)實(shí)時(shí)的溫濕度。

在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域，環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能大幅下降。想要實(shí)現(xiàn)波動(dòng) ±0.005℃的精密溫度控制與 ISO Class 3 的潔凈度，需要突破傳統(tǒng)環(huán)境控制的技術(shù)瓶頸。 南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對(duì)環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃，潔凈度可達(dá)一級(jí)（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平。為精密制造和精密儀器的運(yùn)行提供了可靠的環(huán)境保障。精密溫控設(shè)備現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體令頁軍企業(yè)，以及國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。精密溫控通過以下方式根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行設(shè)備的非標(biāo)定制。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司，作為成熟的高精密環(huán)境控制設(shè)備制造商，專注于高精密事業(yè)創(chuàng)新與發(fā)展。高精密恒溫恒濕精密溫控方案

靜謐運(yùn)行：應(yīng)用 EC 風(fēng)機(jī)與高效隔音材料，運(yùn)行噪音低于 45dB，避免噪音對(duì)精密操作產(chǎn)生干擾。浙江精密儀器精密溫控

晶圓制造是一項(xiàng)對(duì)環(huán)境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕，還是封裝環(huán)節(jié)，溫度的細(xì)微波動(dòng)和空氣中的微小顆粒都可能帶來災(zāi)難性后果，影響芯片的功能或造成短路或斷路，導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚，憑借突破性的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓構(gòu)建起無可比擬的操作空間，可實(shí)現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級(jí)精度的溫度控制，及ISO class1-ISO class6不同等級(jí)的潔凈度，相比晶圓操作臺(tái)通過被動(dòng)抵御環(huán)境溫度變化，極測(cè)精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破，主動(dòng)調(diào)控外部溫度，形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環(huán)境”，成為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高精度邁進(jìn)的關(guān)鍵力量。浙江精密儀器精密溫控