考慮到不同生產(chǎn)車間的布局需求，極測精密環(huán)控設備采用可拆卸鋁合金框架，大型設備可在現(xiàn)場便捷組裝，節(jié)省安裝時間與成本。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì)，不僅堅固耐用，還可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色，融入不同的工作環(huán)境。設備運行時，采用 EC 風機和高效隔音材質(zhì)，實現(xiàn)靜音高效運轉(zhuǎn)，噪音低于 45dB，為操作人員營造安靜舒適的工作環(huán)境，避免噪音干擾測量操作和數(shù)據(jù)分析。 自推出以來，極測精密環(huán)控設備已成功為眾多企業(yè)的三坐標測量儀提供了穩(wěn)定可靠的工作環(huán)境，贏得了贊譽。在制造業(yè)對高精度、高效率生產(chǎn)要求日益提升的如今極測精密環(huán)控設備為精密制造和質(zhì)量檢測奠定堅實基礎，助力企業(yè)在激烈的市場競爭中脫穎而出。極測（南京）技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業(yè)領域的沉淀不斷壯大。極測（南京）精密溫控方案

極測（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動安全保護系統(tǒng)可實現(xiàn)故障自動保護，確保設備全天候穩(wěn)定運行，減少因故障導致的測量中斷。芯片精密溫控設備采購除了溫控精度與潔凈度，系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH，壓力波動控制在±3Pa以內(nèi)。

在半導體產(chǎn)業(yè)鏈中，溫度波動是導致芯片缺陷的關鍵因素之一：

蝕刻與沉積環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動控制在±0.01℃以內(nèi)，若溫度漂移超過閾值，可能導致刻蝕深度不均、薄膜應力開裂等問題；

晶圓生長與加工：硅單晶生長過程中，溫度梯度變化會引起晶格缺陷，影響晶圓電學性能；

芯片測試環(huán)節(jié)：環(huán)境溫度波動可能導致測試儀器誤差增大，造成芯片分選誤判。極測精密水冷冷凍水機組以±0.001℃控溫精度（遠超行業(yè)標準）及動態(tài)負載適應能力，精zhun解決上述痛點，成為半導體工藝的“溫度守護者”。

極測（南京）高精密水冷冷凍水機組的 “數(shù)字引擎”PT100 溫度傳感器與PID 控制算法形成基礎控溫鏈路，控溫精度達 ±0.1℃~±0.01℃；高精密逐級控溫專利設計（如分級制冷回路）進一步細化控制層級，部分機型引入自適應模糊控制算法，在激光加工、醫(yī)療設備等復雜場景中，將精密水冷冷凍水機組的控溫精度提升至±0.001℃（毫 K 級）。
精密水冷冷凍水機組采用板式換熱器，其微通道結(jié)構(gòu)與波紋板片設計使傳熱系數(shù)提升 20%~40%，同時具備體積緊湊、易維護等優(yōu)勢；不銹鋼 / 銅材質(zhì)增強耐腐蝕性，適配半導體、醫(yī)療等行業(yè)對水質(zhì)與潔凈度的高要求；環(huán)保冷媒 R410A 的應用，更契合全球綠色制造趨勢。
現(xiàn)已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品，可實現(xiàn)ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標定制能力，能針對用戶的個性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設備運行數(shù)據(jù)實時記錄查詢，且配備自動安全保護系統(tǒng)，確保長時間運行無憂。其構(gòu)成部分包括設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定。為達成溫濕度及潔凈度要求，采用大風量小溫差設計，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動保持在極低數(shù)值（關鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級控溫（先經(jīng)表冷盤降溫，再由多級電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級至 ±0.002℃。堅固美觀：鈑金箱體堅固耐用，外觀顏色可按需定制，完美融入現(xiàn)代化實驗室環(huán)境。湖北0.02精密溫控

系統(tǒng)可實現(xiàn)蕞高ISO Class 1級的潔凈環(huán)境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個）。極測（南京）精密溫控方案

極測精密溫控箱罩配備了先進的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。在三坐標測量儀運行過程中，精密溫控箱罩的溫度、濕度等關鍵環(huán)境數(shù)據(jù)自動生成曲線，操作人員可直觀地觀察到環(huán)境參數(shù)的變化趨勢。數(shù)據(jù)自動保存且可隨時以表格形式導出，同時設備的運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件也同步記錄。這不僅方便了生產(chǎn)過程中的質(zhì)量追溯與分析，還能幫助技術(shù)人員及時發(fā)現(xiàn)潛在問題，優(yōu)化測量流程。一旦設備出現(xiàn)異常，自動安全保護系統(tǒng)迅速啟動，故障自動保護程序確保設備全天候穩(wěn)定運行，實時聲光報警提醒工作人員，并支持遠程協(xié)助故障處理，蕞大程度減少因設備故障導致的生產(chǎn)停滯，保障生產(chǎn)效率。極測（南京）精密溫控方案