極測(cè)（南京）致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境，專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求?？茖W(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國際先進(jìn)水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋：半導(dǎo)體芯片、精密光學(xué)、精密測(cè)量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測(cè)在新技術(shù)浪潮中奮力向前，攀登環(huán)境控制新高度！為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境！系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)蕞高ISO Class 1級(jí)的潔凈環(huán)境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個(gè)）。OCD量測(cè)精密溫控單元

極測(cè)（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長(zhǎng)立式干涉儀使用壽命。同時(shí)，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營(yíng)造超凈工作空間。 智能功能助力運(yùn)維極測(cè)微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)故障自動(dòng)保護(hù)，確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷。廣東精密溫控單元靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，大型設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)輕松組裝，大幅節(jié)省安裝成本和時(shí)間。

極測(cè)（南京）關(guān)鍵技術(shù)市如何適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛需求的？毫 K 級(jí)控溫的技術(shù)密碼專li級(jí) PID + 逐級(jí)控溫：通過 “超高精度工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)及其恒溫控制方法” 專li，結(jié)合自主研發(fā)溫度采集模塊與多級(jí)制冷回路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)蝕刻機(jī)腔體溫度的±0.001℃級(jí)控制，例如在 EUV 光刻機(jī)中，可確保光刻膠曝光時(shí)的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強(qiáng)化傳熱：微通道結(jié)構(gòu)與不銹鋼材質(zhì)提升換熱效率 30% 以上，同時(shí)避免銅離子污染（半導(dǎo)體行業(yè)忌用材質(zhì)），滿足晶圓制造對(duì)水質(zhì)純凈度的要求?？垢蓴_與快速響應(yīng)能力雙壓縮機(jī)冗余設(shè)計(jì)：在晶圓廠 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)中，單壓縮機(jī)故障時(shí)備用模塊可在快速自動(dòng)切入，避免因停機(jī)導(dǎo)致的工藝中斷；變頻技術(shù)動(dòng)態(tài)調(diào)溫：通過壓縮機(jī)變頻調(diào)節(jié)制冷量，在芯片測(cè)試環(huán)節(jié)面對(duì)多工位負(fù)載切換時(shí)，溫度恢復(fù)時(shí)間很大縮短。

極測(cè)（南京）專注精密環(huán)境控制解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)處于快速發(fā)展與技術(shù)迭代的關(guān)鍵期，本土供應(yīng)鏈的完善與升級(jí)至關(guān)重要。極測(cè)（南京）技術(shù)此次業(yè)績(jī)表現(xiàn)，不僅標(biāo)志著公司在市場(chǎng)拓展與業(yè)務(wù)運(yùn)營(yíng)上實(shí)現(xiàn)突破，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，更體現(xiàn)了其在半導(dǎo)體精密環(huán)控領(lǐng)域的核心競(jìng)爭(zhēng)力持續(xù)提升，為后續(xù)發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)?，F(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

極測(cè)精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動(dòng)保護(hù)機(jī)制，減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷和晶圓報(bào)廢。 極測(cè)先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅(jiān)實(shí)的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測(cè)精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。在一些化學(xué)蝕刻工藝中，濕度過高或過低都會(huì)影響蝕刻速度和精度，蕞終影響芯片的良品率。福建微電子精密溫控

適用于醫(yī)療設(shè)備生產(chǎn)中的冷卻需求，如激光醫(yī)療設(shè)備、低溫生物樣本儲(chǔ)存等，同時(shí)低噪設(shè)計(jì)可滿足醫(yī)院環(huán)境要求。OCD量測(cè)精密溫控單元

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司采用相對(duì)濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn)，包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級(jí)測(cè)溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計(jì)方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計(jì)思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動(dòng)處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時(shí)采用多級(jí)控溫，將溫度精度逐步提升。針對(duì)光路部分設(shè)計(jì)密閉防護(hù)罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風(fēng)速。對(duì)于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級(jí)提升至 10 級(jí)，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測(cè)量誤差從 400 降低至 4。
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