極測在溫度控制方面蕞高可實(shí)現(xiàn)令人驚嘆的 ±0.002℃溫度控制精度。這一精度意味著，在整個(gè)晶圓操作過程中，環(huán)境溫度幾乎保持絕dui穩(wěn)定，溫度水平均勻性小于 16mK/m，幾乎消除了因溫度變化對(duì)晶圓產(chǎn)生的熱應(yīng)力和尺寸誤差。在潔凈度方面，精密恒溫潔凈棚通過空氣過濾系統(tǒng)和氣流組織設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了蕞高優(yōu)于 ISO class1 的潔凈度等級(jí)，遠(yuǎn)超普通潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)。 除了高精度的溫度和潔凈度控制，極測精密恒溫潔凈棚還具備全場景非標(biāo)定制能力。根據(jù)不同客戶的需求和晶圓操作工藝的特點(diǎn)，可以靈活調(diào)整溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化參數(shù)。無論是高duan芯片制造企業(yè)，還是科研機(jī)構(gòu)的晶圓研發(fā)項(xiàng)目，都能在這里找到蕞適合的環(huán)境解決方案。精密恒溫潔凈棚現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。靜謐運(yùn)行：應(yīng)用 EC 風(fēng)機(jī)與高效隔音材料，運(yùn)行噪音低于 45dB，避免噪音對(duì)精密操作產(chǎn)生干擾。微電子精密溫控平臺(tái)

高精密冷凍水機(jī)組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設(shè)計(jì)的制冷設(shè)備，通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán)，為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關(guān)鍵特點(diǎn)在于高能效、低波動(dòng)性及智能化控制，滿足嚴(yán)苛的溫控需求。極測（南京）技術(shù)有限公司采??研溫控技術(shù)，高精密冷凍水機(jī)組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達(dá)±0.002℃。高精密冷凍水機(jī)組采用國際有名品牌壓縮機(jī)，配套高質(zhì)量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機(jī)組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。高精密冷凍水機(jī)組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準(zhǔn)確測量實(shí)驗(yàn)艙內(nèi)實(shí)時(shí)的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器，冷凍水閥無級(jí)調(diào)節(jié)、無級(jí)調(diào)節(jié)電加熱器、模擬量控制加濕器可根據(jù)實(shí)際實(shí)驗(yàn)艙需求調(diào)節(jié)輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設(shè)計(jì)的PID算法，在運(yùn)行過程中進(jìn)行比例、積分、微分的計(jì)算并輸出控制，使實(shí)驗(yàn)室內(nèi)溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)，絕dui焓濕量的控制策略，使控制實(shí)驗(yàn)艙內(nèi)濕度控制快速準(zhǔn)確，沒有誤操作誤判斷。浙江計(jì)量精密溫控例如，光刻工藝中，微小的溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致曝光位置的漂移，進(jìn)而影響線路的精確度。

極測（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時(shí)，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運(yùn)維極測微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)故障自動(dòng)保護(hù)，確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行，減少因故障導(dǎo)致的測量中斷。

三坐標(biāo)測量儀通過探針接觸或非接觸式光學(xué)掃描等方式，對(duì)工件的尺寸、形狀和位置進(jìn)行精確測量。在測量過程中，環(huán)境溫度的細(xì)微變化會(huì)引發(fā)測量儀自身結(jié)構(gòu)以及被測工件的熱脹冷縮。例如，當(dāng)溫度波動(dòng) 1℃時(shí)，對(duì)于長度為 1 米的金屬工件，其長度變化可達(dá) 10 微米左右，這在高精度測量中是不容忽視的誤差來源。這種熱變形不僅會(huì)影響測量儀的測量精度，還可能導(dǎo)致測量結(jié)果的重復(fù)性變差，使生產(chǎn)過程中的質(zhì)量檢測出現(xiàn)偏差，進(jìn)而影響產(chǎn)品的蕞終質(zhì)量和性能。極測（南京）高精密環(huán)境控制設(shè)備確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，滿足光刻機(jī)、加速器等設(shè)備的恒溫需求。

在半導(dǎo)體制造的精密領(lǐng)域，每一個(gè)細(xì)微的溫度變化，都可能對(duì)芯片的性能產(chǎn)生重大影響。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對(duì)環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃，潔凈度可達(dá)一級(jí)（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平，為更高精度的芯片半導(dǎo)體制造提供了可靠的環(huán)境保障。 極測（南京）投入大量資源進(jìn)行技術(shù)研發(fā)，致力于為半導(dǎo)體制造提供高精度、高穩(wěn)定性的溫控設(shè)備。以其成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的解決方案，為半導(dǎo)體制造精度構(gòu)筑起一道堅(jiān)實(shí)的防線。因此，光學(xué)儀器行業(yè)通常要求潔凈室或無塵室的潔凈度達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn)，如千級(jí)、萬級(jí)或十萬級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn)。精密測量精密溫控設(shè)備

系統(tǒng)由設(shè)備主柜體、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。微電子精密溫控平臺(tái)

在眾多精密環(huán)控設(shè)備供應(yīng)商中，極測（南京）技術(shù)有限公司值得關(guān)注。作為南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）憑借深厚的技術(shù)沉淀與持續(xù)的創(chuàng)新熱忱，在行業(yè)內(nèi)嶄露頭角。該公司擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，涵蓋溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求。其研發(fā)的精密環(huán)控柜蕞高可實(shí)現(xiàn)±0.002℃高精密溫度控制，以及潔凈度十級(jí)的潔凈環(huán)境，已成功為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密儀器提供穩(wěn)定工作環(huán)境，服務(wù)了多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。 微電子精密溫控平臺(tái)