鎖相熱成像系統(tǒng)在發(fā)展過程中也面臨著一些技術(shù)難點,其中如何優(yōu)化熱激勵方式與信號處理算法是問題。熱激勵方式的合理性直接影響檢測的靈敏度和準確性,不同的被測物體需要不同的激勵參數(shù);而信號處理算法則決定了能否從復雜的信號中有效提取出有用信息。為此,研究人員不斷進行探索和創(chuàng)新,通過改進光源調(diào)制頻率,使其更適應不同檢測場景,開發(fā)多頻融合算法,提高信號處理的效率和精度等方式,持續(xù)提升系統(tǒng)的檢測速度與缺陷識別精度。未來,隨著新型材料的研發(fā)和傳感器技術(shù)的不斷進步,鎖相熱成像系統(tǒng)的性能將進一步提升,其應用領域也將得到的拓展,為更多行業(yè)帶來技術(shù)革新。電激勵的脈沖寬度與鎖相熱成像系統(tǒng)采樣頻率需匹配,通過參數(shù)優(yōu)化可大幅...
在當今高科技蓬勃發(fā)展的時代,鎖相紅外熱成像系統(tǒng)也成其為“RTTLIT"以其獨特的優(yōu)勢,正逐漸成為紅外檢測領域的新寵。該系統(tǒng)采用先進的鎖相技術(shù),能夠捕捉目標物體的微小溫度變化,為各行業(yè)提供前所未有的熱成像解決方案。鎖相紅外熱成像系統(tǒng)優(yōu)勢在于其高靈敏度和高分辨率的熱成像能力。無論是在復雜的工業(yè)環(huán)境中,還是在精密的科研實驗中,該系統(tǒng)都能以超凡的性能,準確快速地識別出熱異常,從而幫助用戶及時發(fā)現(xiàn)問題,有效預防潛在風險。利用鎖相放大器或相關算法,將熱像序列中每個像素的溫度信號與激勵參考信號進行相關運算得到振幅與相位。高精度鎖相紅外熱成像系統(tǒng)原理鎖相熱成像系統(tǒng)的電激勵方式在電子產(chǎn)業(yè)的多層電路板檢測中優(yōu)勢明...
在半導體行業(yè)飛速發(fā)展的現(xiàn)在,芯片集成度不斷提升,器件結(jié)構(gòu)日益復雜,失效分析的難度也隨之大幅增加。傳統(tǒng)檢測設備往往難以兼顧微觀觀測與微弱信號捕捉,導致許多隱性缺陷成為 “漏網(wǎng)之魚”。蘇州致晟光電科技有限公司憑借自主研發(fā)實力,將熱紅外顯微鏡與鎖相紅外熱成像系統(tǒng)創(chuàng)造性地集成一體,推出 Thermal EMMI P 熱紅外顯微鏡系列檢測設備(搭載自主研發(fā)的 RTTLIT (實時瞬態(tài)鎖相紅外系統(tǒng)),為半導體的失效分析提供了全新的技術(shù)范式。 在復合材料檢測中,電激勵能使缺陷區(qū)域產(chǎn)生獨特熱響應,鎖相熱成像系統(tǒng)可將這種響應轉(zhuǎn)化為清晰的缺陷圖像。失效分析鎖相紅外熱成像系統(tǒng)范圍先進的封裝應用、復雜的互...
在電子產(chǎn)業(yè)中,電激勵與鎖相熱成像系統(tǒng)的結(jié)合為電子元件檢測帶來了前所未有的高效解決方案。電激勵的原理是向電子元件施加特定頻率的周期性電流,利用電流通過導體時產(chǎn)生的焦耳效應,使元件內(nèi)部產(chǎn)生均勻且可控的熱量。當元件存在短路、虛焊、內(nèi)部裂紋等缺陷時,缺陷區(qū)域的熱傳導特性會與正常區(qū)域產(chǎn)生明顯差異,進而導致溫度分布出現(xiàn)異常。鎖相熱成像系統(tǒng)憑借其高靈敏度的紅外探測能力和先進的鎖相處理技術(shù),能夠捕捉這些細微的溫度變化,即使是微米級的缺陷也能被清晰識別。與傳統(tǒng)的探針檢測或破壞性檢測方法相比,這種非接觸式的檢測方式無需拆解元件,從根本上避免了對元件的損傷,同時還能實現(xiàn)大批量元件的快速檢測。例如,在手機芯片的批量質(zhì)...
致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb(銦銻)探測器,用于中波紅外波段(3–5 μm)的熱輻射信號捕捉。InSb材料具有優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)換效率和極低的本征噪聲,在制冷條件下可實現(xiàn)高達nW級的熱靈敏度和優(yōu)于20mK的溫度分辨率,適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測器在熱紅外顯微系統(tǒng)中的應用,提升了空間分辨率(可達微米量級)與溫度響應線性度,使其能夠?qū)Π雽w器件、微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱缺陷、熱點遷移和瞬態(tài)熱行為進行精細刻畫。配合致晟光電自主開發(fā)的高數(shù)值孔徑光學系統(tǒng)與穩(wěn)態(tài)熱控平臺,InSb探測器可在多物理場耦合背景下實現(xiàn)高時空分辨的熱場成像,是先進電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評價中...
RTTLIT 系統(tǒng)采用了先進的鎖相熱成像(Lock-In Thermography)技術(shù),這是一種通過調(diào)制電信號來大幅提升特征分辨率與檢測靈敏度的創(chuàng)新方法。在傳統(tǒng)的熱成像檢測中,由于背景噪聲和熱擴散等因素的影響,往往難以精確檢測到微小的熱異常。而鎖相熱成像技術(shù)通過對目標物體施加特定頻率的電激勵,使目標物體產(chǎn)生與激勵頻率相同的熱響應,然后通過鎖相放大器對熱響應信號進行解調(diào),只提取與激勵頻率相關的熱信號,從而有效地抑制了背景噪聲,極大地提高了檢測的靈敏度和分辨率。 鎖相熱紅外電激勵成像技術(shù)在各個領域具有廣泛應用前景,為產(chǎn)品質(zhì)量控制和可靠性保障提供了重要手段。無損檢測鎖相紅外熱成像系統(tǒng)設備廠家失...
致晟光電推出的多功能顯微系統(tǒng),創(chuàng)新實現(xiàn)熱紅外與微光顯微鏡的集成設計,搭配靈活可選的制冷/非制冷模式,可根據(jù)您的實際需求定制專屬配置方案。這套設備的優(yōu)勢在于一體化集成能力:只需一套系統(tǒng),即可同時搭載可見光顯微鏡、熱紅外顯微鏡及InGaAs微光顯微鏡三大功能模塊。這種設計省去了多設備切換的繁瑣,更通過硬件協(xié)同優(yōu)化提升了整體性能,讓您在同一平臺上輕松完成多波段觀測任務。相比單獨購置多套設備,該集成系統(tǒng)能大幅降低采購與維護成本,在保證檢測精度的同時,為實驗室節(jié)省空間與預算,真正實現(xiàn)性能與性價比的雙重提升。鎖相熱成像系統(tǒng)結(jié)合電激勵技術(shù),可實現(xiàn)對電子元件工作狀態(tài)的實時監(jiān)測,及時發(fā)現(xiàn)潛在的過熱或接觸不良問題...
在當今高科技蓬勃發(fā)展的時代,鎖相紅外熱成像系統(tǒng)也成其為“RTTLIT"以其獨特的優(yōu)勢,正逐漸成為紅外檢測領域的新寵。該系統(tǒng)采用先進的鎖相技術(shù),能夠捕捉目標物體的微小溫度變化,為各行業(yè)提供前所未有的熱成像解決方案。鎖相紅外熱成像系統(tǒng)優(yōu)勢在于其高靈敏度和高分辨率的熱成像能力。無論是在復雜的工業(yè)環(huán)境中,還是在精密的科研實驗中,該系統(tǒng)都能以超凡的性能,準確快速地識別出熱異常,從而幫助用戶及時發(fā)現(xiàn)問題,有效預防潛在風險。鎖相熱成像系統(tǒng)通過識別電激勵引發(fā)的周期性熱信號,可有效檢測材料內(nèi)部缺陷,其靈敏度遠超傳統(tǒng)熱成像技術(shù)。科研用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)分析在產(chǎn)品全壽命周期中,失效分析以解決失效問題、確定根本原因為...
電激勵的參數(shù)設置對鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產(chǎn)業(yè)的檢測效果有著決定性的影響,需要根據(jù)不同的檢測對象進行精細調(diào)控。電流大小的選擇尤為關鍵,必須嚴格適配電子元件的額定耐流值。如果電流過小,產(chǎn)生的熱量不足以激發(fā)明顯的溫度響應,系統(tǒng)將難以捕捉到缺陷信號; 而電流過大則可能導致元件過熱損壞,造成不必要的損失。頻率的選擇同樣不容忽視,高頻電激勵產(chǎn)生的熱量主要集中在元件表面,適合檢測表層的焊接缺陷、線路斷路等問題;低頻電激勵則能使熱量滲透到元件內(nèi)部,可有效探測深層的結(jié)構(gòu)缺陷,如芯片內(nèi)部的晶格缺陷。在檢測復雜的集成電路時,技術(shù)人員往往需要通過多次試驗,確定比較好的電流和頻率參數(shù)組合,以確保系統(tǒng)能夠清晰區(qū)分...
鎖相熱成像系統(tǒng)的組件各司其職,共同保障了系統(tǒng)的高效運行??烧{(diào)諧激光器作為重要的熱源,能夠提供穩(wěn)定且可調(diào)節(jié)頻率的周期性熱激勵,以適應不同被測物體的特性;紅外熱像儀則如同 “眼睛”,負責采集物體表面的溫度場分布,其高分辨率確保了溫度信息的細致捕捉;鎖相放大器是系統(tǒng)的 “中樞處理器” 之一,專門用于從復雜的信號中提取與激勵同頻的相位信息,過濾掉無關噪聲;數(shù)據(jù)處理單元則對收集到的信息進行綜合處理和分析,**終生成清晰、直觀的缺陷圖像。這些組件相互配合、協(xié)同工作,每個環(huán)節(jié)的運作都不可或缺,共同確保了系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率、高對比度的檢測效果,滿足各種高精度檢測需求。鎖相熱成像系統(tǒng)借電激勵,捕捉細微溫度變化...
在實際應用中,這款設備已成為半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 “故障診斷利器”。在晶圓制造環(huán)節(jié),它能通過熱分布成像識別光刻缺陷導致的局部漏電;在芯片封裝階段,可定位引線鍵合不良引發(fā)的接觸電阻過熱;針對 IGBT 等功率器件,能捕捉高頻開關下的瞬態(tài)熱行為,提前預警潛在失效風險。某半導體企業(yè)在檢測一批失效芯片時,傳統(tǒng)熱成像設備能看到模糊的發(fā)熱區(qū)域,而使用致晟光電的一體化設備后,通過鎖相技術(shù)發(fā)現(xiàn)發(fā)熱區(qū)域內(nèi)存在一個 2μm 的微小熱點,終定位為芯片內(nèi)部的金屬離子遷移缺陷 —— 這類缺陷若未及時發(fā)現(xiàn),可能導致產(chǎn)品在長期使用中突然失效。高靈敏度紅外相機( mK 級),需滿足高幀率(至少為激勵頻率的 2 倍,遵循采樣定理)以...
在當今科技飛速發(fā)展的時代,電子設備的性能與可靠性至關重要。從微小的芯片到復雜的電路板,任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)故障都可能導致整個系統(tǒng)的崩潰。在這樣的背景下,蘇州致晟光電科技有限公司自主研發(fā)的實時瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng)(RTTLIT)應運而生,猶如一顆璀璨的明星,為電子行業(yè)的失效分析領域帶來了全新的解決方案。 致晟光電成立于 2024 年,總部位于江蘇蘇州,公司秉持著 “需求為本、科技創(chuàng)新” 的理念,專注于電子產(chǎn)品失效分析儀器設備的研發(fā)與制造。 電激勵激發(fā)缺陷熱特征,鎖相熱成像系統(tǒng)識別。非制冷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)P20 鎖相熱成像系統(tǒng)的電激勵方式在電子產(chǎn)業(yè)的 LED 芯片檢測中扮演著不可或缺的角色...
在電子行業(yè),鎖相熱成像系統(tǒng)為芯片檢測帶來了巨大的變革。芯片結(jié)構(gòu)精密復雜,傳統(tǒng)的檢測方法不僅效率低下,還可能對芯片造成損傷。而鎖相熱成像系統(tǒng)通過對芯片施加周期性的電激勵,使芯片內(nèi)部因故障產(chǎn)生的微小溫度變化得以顯現(xiàn),系統(tǒng)能夠敏銳捕捉到這些變化,進而定位電路中的短路、虛焊等故障點。其非接觸式的檢測方式,從根本上避免了對精密電子元件的損傷,同時提升了芯片質(zhì)檢的效率與準確性。在芯片生產(chǎn)的大規(guī)模質(zhì)檢中,它能夠快速篩選出不合格產(chǎn)品,為電子行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供了有力支持。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵檢測更具實用價值。半導體鎖相紅外熱成像系統(tǒng)設備鎖相熱成像系統(tǒng)借助電激勵在電子產(chǎn)業(yè)的微型電子元件檢測中展現(xiàn)出極高的靈敏度...
在半導體行業(yè)飛速發(fā)展的現(xiàn)在,芯片集成度不斷提升,器件結(jié)構(gòu)日益復雜,失效分析的難度也隨之大幅增加。傳統(tǒng)檢測設備往往難以兼顧微觀觀測與微弱信號捕捉,導致許多隱性缺陷成為 “漏網(wǎng)之魚”。蘇州致晟光電科技有限公司憑借自主研發(fā)實力,將熱紅外顯微鏡與鎖相紅外熱成像系統(tǒng)創(chuàng)造性地集成一體,推出 Thermal EMMI P 熱紅外顯微鏡系列檢測設備(搭載自主研發(fā)的 RTTLIT (實時瞬態(tài)鎖相紅外系統(tǒng)),為半導體的失效分析提供了全新的技術(shù)范式。 電激勵頻率可調(diào),適配鎖相熱成像系統(tǒng)多場景檢測。國產(chǎn)平替鎖相紅外熱成像系統(tǒng)價格走勢在當今高科技蓬勃發(fā)展的時代,鎖相紅外熱成像系統(tǒng)也成其為“RTTLIT"以其...
致晟光電在推動產(chǎn)學研一體化進程中,積極開展校企合作。公司依托南京理工大學光電技術(shù)學院,專注開發(fā)基于微弱光電信號分析的產(chǎn)品及應用。雙方聯(lián)合攻克技術(shù)難題,不斷優(yōu)化實時瞬態(tài)鎖相紅外熱分析系統(tǒng)(RTTLIT),使該系統(tǒng)溫度靈敏度可達0.0001℃,功率檢測限低至1uW,部分功能及參數(shù)優(yōu)于進口設備。此外,致晟光電還與其他高校建立合作關系,搭建起學業(yè)-就業(yè)貫通式人才孵化平臺。為學生提供涵蓋研發(fā)設計、生產(chǎn)實踐、項目管理全鏈條的育人平臺,輸送了大量實踐能力強的專業(yè)人才,為企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新注入活力。通過建立科研成果產(chǎn)業(yè)孵化綠色通道,高校的前沿科研成果得以快速轉(zhuǎn)化為實際生產(chǎn)力,實現(xiàn)了高校科研資源與企業(yè)市場轉(zhuǎn)化能力的優(yōu)...
在電子產(chǎn)業(yè)中,電激勵與鎖相熱成像系統(tǒng)的結(jié)合為電子元件檢測帶來了前所未有的高效解決方案。電激勵的原理是向電子元件施加特定頻率的周期性電流,利用電流通過導體時產(chǎn)生的焦耳效應,使元件內(nèi)部產(chǎn)生均勻且可控的熱量。當元件存在短路、虛焊、內(nèi)部裂紋等缺陷時,缺陷區(qū)域的熱傳導特性會與正常區(qū)域產(chǎn)生明顯差異,進而導致溫度分布出現(xiàn)異常。鎖相熱成像系統(tǒng)憑借其高靈敏度的紅外探測能力和先進的鎖相處理技術(shù),能夠捕捉這些細微的溫度變化,即使是微米級的缺陷也能被清晰識別。與傳統(tǒng)的探針檢測或破壞性檢測方法相比,這種非接觸式的檢測方式無需拆解元件,從根本上避免了對元件的損傷,同時還能實現(xiàn)大批量元件的快速檢測。例如,在手機芯片的批量質(zhì)...
鎖相熱成像系統(tǒng)借助電激勵在電子產(chǎn)業(yè)的微型電子元件檢測中展現(xiàn)出極高的靈敏度,滿足了電子產(chǎn)業(yè)向微型化、高精度發(fā)展的需求。隨著電子技術(shù)的不斷進步,電子元件正朝著微型化方向快速發(fā)展,如微型傳感器、微型繼電器等,其尺寸通常在毫米甚至微米級別,缺陷也更加細微,傳統(tǒng)的檢測方法難以應對。電激勵能夠在微型元件內(nèi)部產(chǎn)生微小但可探測的溫度變化,即使是納米級的缺陷也能引起局部溫度的細微波動。鎖相熱成像系統(tǒng)結(jié)合先進的鎖相技術(shù),能夠從強大的背景噪聲中提取出與電激勵同頻的溫度信號,將微小的溫度變化放大并清晰顯示出來,從而檢測出微米級的缺陷。例如,在檢測微型加速度傳感器的敏感元件時,系統(tǒng)能夠發(fā)現(xiàn)因制造誤差導致的微小結(jié)構(gòu)變形,...
致晟光電的一體化檢測設備,不僅是技術(shù)的集成,更是對半導體失效分析邏輯的重構(gòu)。它讓 “微觀觀測” 與 “微弱信號檢測” 不再是選擇題,而是能同時實現(xiàn)的標準配置。在國產(chǎn)替代加速推進的背景下,這類自主研發(fā)的失效分析檢測設備,正逐步打破國外品牌在半導體檢測領域的技術(shù)壟斷,為我國半導體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供堅實的設備支撐。未來隨著第三代半導體、Micro LED 等新興領域的崛起,對失效分析的要求將進一步提升,而致晟光電的技術(shù)探索,無疑為行業(yè)提供了可借鑒的創(chuàng)新路徑。非接觸式檢測在不破壞樣品的情況下實現(xiàn)成像,適用于各種封裝狀態(tài)的樣品,包括未開封的芯片和PCBA。實時瞬態(tài)鎖相分析系統(tǒng)鎖相紅外熱成像系統(tǒng)訂制價格...
電激勵的參數(shù)設置對鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產(chǎn)業(yè)的檢測效果有著決定性的影響,需要根據(jù)不同的檢測對象進行精細調(diào)控。電流大小的選擇尤為關鍵,必須嚴格適配電子元件的額定耐流值。如果電流過小,產(chǎn)生的熱量不足以激發(fā)明顯的溫度響應,系統(tǒng)將難以捕捉到缺陷信號; 而電流過大則可能導致元件過熱損壞,造成不必要的損失。頻率的選擇同樣不容忽視,高頻電激勵產(chǎn)生的熱量主要集中在元件表面,適合檢測表層的焊接缺陷、線路斷路等問題;低頻電激勵則能使熱量滲透到元件內(nèi)部,可有效探測深層的結(jié)構(gòu)缺陷,如芯片內(nèi)部的晶格缺陷。在檢測復雜的集成電路時,技術(shù)人員往往需要通過多次試驗,確定比較好的電流和頻率參數(shù)組合,以確保系統(tǒng)能夠清晰區(qū)分...
在實際應用中,這款設備已成為半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 “故障診斷利器”。在晶圓制造環(huán)節(jié),它能通過熱分布成像識別光刻缺陷導致的局部漏電;在芯片封裝階段,可定位引線鍵合不良引發(fā)的接觸電阻過熱;針對 IGBT 等功率器件,能捕捉高頻開關下的瞬態(tài)熱行為,提前預警潛在失效風險。某半導體企業(yè)在檢測一批失效芯片時,傳統(tǒng)熱成像設備能看到模糊的發(fā)熱區(qū)域,而使用致晟光電的一體化設備后,通過鎖相技術(shù)發(fā)現(xiàn)發(fā)熱區(qū)域內(nèi)存在一個 2μm 的微小熱點,終定位為芯片內(nèi)部的金屬離子遷移缺陷 —— 這類缺陷若未及時發(fā)現(xiàn),可能導致產(chǎn)品在長期使用中突然失效。鎖相熱紅外電激勵成像技術(shù)在各個領域具有廣泛應用前景,為產(chǎn)品質(zhì)量控制和可靠性保障提供了重要...
熱紅外顯微鏡是半導體失效分析與缺陷定位的三大主流手段之一(EMMI、THERMAL、OBIRCH),通過捕捉故障點產(chǎn)生的異常熱輻射,實現(xiàn)精細定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表現(xiàn)為局部功耗異常,導致微區(qū)溫度升高。顯微熱分布測試系統(tǒng)結(jié)合熱點鎖定技術(shù),能夠高效識別這些區(qū)域。熱點鎖定是一種動態(tài)紅外熱成像方法,通過調(diào)節(jié)電壓提升分辨率與靈敏度,并借助算法優(yōu)化信噪比。在集成電路(IC)分析中,該技術(shù)廣泛應用于定位短路、ESD損傷、缺陷晶體管、二極管失效及閂鎖問題等關鍵故障。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵下的缺陷無所遁形。廠家鎖相紅外熱成像系統(tǒng)功能鎖相熱成像系統(tǒng)是一種將光學成像技術(shù)與鎖相技術(shù)深度融合的先進無損檢測設...
鎖相熱成像系統(tǒng)與電激勵結(jié)合,為電子產(chǎn)業(yè)的傳感器芯片檢測提供了可靠保障,確保傳感器芯片能夠滿足各領域?qū)Ω呔葯z測的需求。傳感器芯片是獲取外界信息的關鍵部件,廣泛應用于工業(yè)自動化、醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測等領域,其精度和可靠性至關重要。傳感器芯片內(nèi)部的敏感元件、信號處理電路等若存在缺陷,如敏感元件的零點漂移、電路的噪聲過大等,會嚴重影響傳感器的檢測精度。通過對傳感器芯片施加電激勵,使其處于工作狀態(tài),系統(tǒng)能夠檢測芯片表面的溫度變化,發(fā)現(xiàn)敏感區(qū)域的缺陷。例如,在檢測紅外溫度傳感器芯片時,系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)因敏感元件材料不均導致的溫度檢測偏差;在檢測壓力傳感器芯片時,能夠識別出因應變片粘貼不良導致的信號失真。通過篩...
ThermalEMMI(熱紅外顯微鏡)是一種先進的非破壞性檢測技術(shù),主要用于精細定位電子設備中的熱點區(qū)域,這些區(qū)域通常與潛在的故障、缺陷或性能問題密切相關。該技術(shù)可在不破壞被測對象的前提下,捕捉電子元件在工作狀態(tài)下釋放的熱輻射與光信號,為工程師提供關鍵的故障診斷線索和性能分析依據(jù)。在諸如復雜集成電路、高性能半導體器件以及精密印制電路板(PCB)等電子組件中,ThermalEMMI能夠快速識別出異常發(fā)熱或發(fā)光的區(qū)域,幫助工程師迅速定位問題根源,從而及時采取有效的維修或優(yōu)化措施。檢測速度快,但鎖相熱紅外電激勵成像所得的位相圖不受物體表面情況影響,對深層缺陷檢測效果更好。實時瞬態(tài)鎖相分析系統(tǒng)鎖相紅外...
在電子領域,所有器件都會在不同程度上產(chǎn)生熱量。器件散發(fā)一定熱量屬于正?,F(xiàn)象,但某些類型的缺陷會增加功耗,進而導致發(fā)熱量上升。在失效分析中,這種額外的熱量能夠為定位缺陷本身提供有用線索。熱紅外顯微鏡可以借助內(nèi)置攝像系統(tǒng)來測量可見光或近紅外光的實用技術(shù)。該相機對波長在3至10微米范圍內(nèi)的光子十分敏感,而這些波長與熱量相對應,因此相機獲取的圖像可轉(zhuǎn)化為被測器件的熱分布圖。通常,會先對斷電狀態(tài)下的樣品器件進行熱成像,以此建立基準線;隨后通電再次成像。得到的圖像直觀呈現(xiàn)了器件的功耗情況,可用于隔離失效問題。許多不同的缺陷在通電時會因消耗額外電流而產(chǎn)生過多熱量。例如短路、性能不良的晶體管、損壞的靜電放電保...
在半導體行業(yè)飛速發(fā)展的現(xiàn)在,芯片集成度不斷提升,器件結(jié)構(gòu)日益復雜,失效分析的難度也隨之大幅增加。傳統(tǒng)檢測設備往往難以兼顧微觀觀測與微弱信號捕捉,導致許多隱性缺陷成為 “漏網(wǎng)之魚”。蘇州致晟光電科技有限公司憑借自主研發(fā)實力,將熱紅外顯微鏡與鎖相紅外熱成像系統(tǒng)創(chuàng)造性地集成一體,推出 Thermal EMMI P 熱紅外顯微鏡系列檢測設備(搭載自主研發(fā)的 RTTLIT (實時瞬態(tài)鎖相紅外系統(tǒng)),為半導體的失效分析提供了全新的技術(shù)范式。 電激勵頻率可調(diào),適配鎖相熱成像系統(tǒng)多場景檢測。國產(chǎn)鎖相紅外熱成像系統(tǒng)應用鎖相熱成像系統(tǒng)與電激勵結(jié)合,為電子產(chǎn)業(yè)的傳感器芯片檢測提供了可靠保障,確保傳感器芯...
鎖相熱成像系統(tǒng)的電激勵方式在電子產(chǎn)業(yè)的 LED 芯片檢測中扮演著不可或缺的角色,為 LED 產(chǎn)品的質(zhì)量提升提供了重要支持。LED 芯片是 pn 結(jié),pn 結(jié)的質(zhì)量直接決定了 LED 的發(fā)光效率、壽命和可靠性。如果 pn 結(jié)存在缺陷,如晶格失配、雜質(zhì)污染等,會導致芯片的電光轉(zhuǎn)換效率下降,發(fā)熱增加,嚴重影響 LED 的性能。通過對 LED 芯片施加電激勵,使芯片處于工作狀態(tài),缺陷處的電流分布和熱分布會出現(xiàn)異常,導致局部溫度升高。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠精確檢測到這些溫度差異,并通過圖像處理技術(shù),清晰顯示出 pn 結(jié)缺陷的位置和形態(tài)。 制造商可以根據(jù)檢測結(jié)果,篩選出良好的 LED 芯片,剔除不合...
電激勵參數(shù)的實時監(jiān)控對于鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產(chǎn)業(yè)檢測中的準確性至關重要,是保障檢測結(jié)果可靠性的關鍵環(huán)節(jié)。在電子元件檢測過程中,電激勵的電流大小、頻率穩(wěn)定性等參數(shù)可能會受到電網(wǎng)波動、環(huán)境溫度變化等因素的影響而發(fā)生微小波動,這些波動看似細微,卻可能對檢測結(jié)果產(chǎn)生干擾,尤其是對于高精度電子元件的檢測。通過實時監(jiān)控系統(tǒng)對電激勵參數(shù)進行持續(xù)監(jiān)測,并將監(jiān)測數(shù)據(jù)實時反饋給控制系統(tǒng),可及時調(diào)整激勵源的輸出,確保電流、頻率等參數(shù)始終穩(wěn)定在預設范圍內(nèi)。例如,在檢測高精度 ADC(模數(shù)轉(zhuǎn)換)芯片時,其內(nèi)部電路對電激勵的變化極為敏感,即使是 0.1% 的電流波動,也可能導致芯片內(nèi)部溫度分布出現(xiàn)異常,干擾對真實缺陷的判...
從技術(shù)原理來看,該設備構(gòu)建了一套完整的 “熱信號捕捉 - 解析 - 成像” 體系。其搭載的高性能探測器(如 RTTLIT P20 采用的 100Hz 高頻深制冷型紅外探測器)能敏銳捕捉中波紅外波段的熱輻射,配合 InGaAs 微光顯微鏡模塊,可同時實現(xiàn)熱信號與光子發(fā)射的同步觀測。在檢測過程中,設備先通過熱紅外顯微鏡快速鎖定可疑區(qū)域,再啟動 RTTLIT 系統(tǒng)的鎖相功能:施加周期性電信號激勵后,缺陷會產(chǎn)生與激勵頻率同步的微弱熱響應,鎖相模塊過濾掉環(huán)境噪聲,將原本被掩蓋的熱信號放大并成像。這種 “先定位、再聚焦” 的模式,既保證了檢測效率,又突破了傳統(tǒng)設備對微弱信號的檢測極限。電激勵模塊是通過源表...
致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb(銦銻)探測器,用于中波紅外波段(3–5 μm)的熱輻射信號捕捉。InSb材料具有優(yōu)異的光電轉(zhuǎn)換效率和極低的本征噪聲,在制冷條件下可實現(xiàn)高達nW級的熱靈敏度和優(yōu)于20mK的溫度分辨率,適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測器在熱紅外顯微系統(tǒng)中的應用,提升了空間分辨率(可達微米量級)與溫度響應線性度,使其能夠?qū)Π雽w器件、微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱缺陷、熱點遷移和瞬態(tài)熱行為進行精細刻畫。配合致晟光電自主開發(fā)的高數(shù)值孔徑光學系統(tǒng)與穩(wěn)態(tài)熱控平臺,InSb探測器可在多物理場耦合背景下實現(xiàn)高時空分辨的熱場成像,是先進電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評價中...
在實際應用中,這款設備已成為半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 “故障診斷利器”。在晶圓制造環(huán)節(jié),它能通過熱分布成像識別光刻缺陷導致的局部漏電;在芯片封裝階段,可定位引線鍵合不良引發(fā)的接觸電阻過熱;針對 IGBT 等功率器件,能捕捉高頻開關下的瞬態(tài)熱行為,提前預警潛在失效風險。某半導體企業(yè)在檢測一批失效芯片時,傳統(tǒng)熱成像設備能看到模糊的發(fā)熱區(qū)域,而使用致晟光電的一體化設備后,通過鎖相技術(shù)發(fā)現(xiàn)發(fā)熱區(qū)域內(nèi)存在一個 2μm 的微小熱點,終定位為芯片內(nèi)部的金屬離子遷移缺陷 —— 這類缺陷若未及時發(fā)現(xiàn),可能導致產(chǎn)品在長期使用中突然失效。利用鎖相放大器或相關算法,將熱像序列中每個像素的溫度信號與激勵參考信號進行相關運算得到振...