技術實現(xiàn)要素:本實用新型所解決的技術問題即在于提供一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,主要借由具有復數(shù)個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異?,F(xiàn)象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優(yōu)勢。本實用新型所采用的技術手段如下所述。為了達到上述的實施目的,本實用新型提出一種擋液板結構,適用于一濕式蝕刻機,擋液板結構包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板,以及一與第二擋板接合的第三擋板,其主要特征在于:第二擋板具有復數(shù)個貫穿第二擋板且錯位設置的宣泄孔。如上所述的擋液板結構,其中***擋板與第二擋板呈正交設置,且第二擋板與第三擋板呈正交設置。如上所述的擋液板結構,其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設成一凹槽的態(tài)樣。如上所述的擋液板結構,其中第二擋板的長度介于10厘米(centimeter,cm)至15厘米(cm)之間。蘇州口碑好的蝕刻液公司。無錫蝕刻液銷售廠
可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用;裝置主體1左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵19,抽氣泵19下方設置有集氣箱21,集氣箱21與抽氣泵19之間連接有排氣管20,電解池4下端連接有二號排液管22,二號排液管22內部上端設置有二號電磁閥23,裝置主體1內部底端靠近左側設置有傾斜板24,裝置主體1前端表面靠近左上邊角位置設置有活動板25,分隔板2右端放置有蓄水箱26,蓄水箱26上端靠近右側連接有進水管27,回流管15下端連接有抽水管28,抽水管28內部上端設置有三號電磁閥29,裝置主體1前端表面靠近右側安裝有控制面板30,傾斜板24的傾斜角度設計為10°,活動板25前端設置有握把,活動板25與裝置主體1之間設置有鉸鏈,且活動板25通過鉸鏈活動安裝在裝置主體1前端,控制面板30的輸出端分別與增壓泵16、一號電磁閥18、二號電磁閥23和三號電磁閥29的輸入端呈電性連接,通過設置有集氣箱21與蓄水箱26,能夠在電解蝕刻液結束后,啟動抽氣泵19,將電解池4中產生的有害氣體抽入到排氣管20并導入到集氣箱21中,實現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動增壓泵16并打開三號電磁閥29,將蓄水箱26中的清水通過抽水管28抽入到進液管8中。深圳市面上哪家蝕刻液溶劑哪家的蝕刻液配方比較好?
本發(fā)明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術:以往,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構成的水溶液將pH值調整為7至9。但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題?,F(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特許第4471094號說明書。技術實現(xiàn)要素:發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實際情況而成,其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,而且毒性低,保存穩(wěn)定性優(yōu)異。解決問題的技術手段本發(fā)明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用,并且含有:選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸;以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。
操作人員的手會與連接構件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收,避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候,會因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行;然后,通過連接構件11將裝置主體1內部構件進行連接,連接構件11設置有十四個,連接構件11設置在攪拌倉23的底部,連接構件11與攪拌倉23固定連接,連接構件11能將裝置主體1內部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端,再通過連接管與連接構件11內側兩端的螺紋管27進行連接,通過轉動連接構件11的兩側部位,同時使連接管與連接構件11的中間位置固定住,通過活動軸28的作用,使連接管通過連接有的螺紋向內來連接,使連接管將密封軟膠層29進行擠壓,使兩構件的連接管進行密封連接,有效的提高了裝置連接的實用性;接著,更換或添加硝酸鉀儲罐21或其它儲罐內的制備材料,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環(huán)22,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,需要將儲罐進行密封,密封環(huán)22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封。平板顯示用的蝕刻液有哪些;
所述液位計連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實施例中,所述分離器的側壁上設有多個視鏡。在其中一個實施例中,所述液位計安裝于所述分離器的外表面。在其中一個實施例中,所述液位開關為控制閥,設置于所述濾液出口處。在其中一個實施例中,所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個實施例中,所述分離器底部為錐體形狀。上述,利用加熱器對含銅蝕刻液進行加熱,使其達到閃蒸要求的溫度,將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器,經過減壓閥及真空泵減壓,含銅蝕刻液在分離器內發(fā)生閃蒸,產生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,通過除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出,減小產品損失。附圖說明圖1是本實施例的結構示意圖;圖2是本實施例的外觀示意圖。圖中:1、液體入口;2、濾液出口;3、除霧組件;4、除沫組件;5、蒸汽出口;6、液相氣相溫度傳感器;7、液位計;8、壓力傳感器;9、液位開關;10、視鏡;11、加熱器;12、減壓閥;13、真空泵。具體實施方式在一個實施例中,如圖1所示,一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器11,所述分離器設有液體入口1、蒸汽出口5及濾液出口2,所述液體入口1用于將加熱器11產生的液體輸入至分離器中。銅蝕刻液是用來蝕刻銅金屬的化學藥水;無錫銅鈦蝕刻液蝕刻液銷售廠
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以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。該風刀裝置40設置于該擋液板結構10的一端部,該風刀裝置40包括有一設置于該基板20上方的***風刀41,以及一設置于該基板20下方的第二風刀42,其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,以使該基板20上該藥液51減少,其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外,請一并參閱圖8與圖9所示,為本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔的態(tài)樣,當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖8所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外。無錫蝕刻液銷售廠