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來源: 發(fā)布時間:2025-09-02

對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例,基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一,請參閱圖1-4,本實用新型提供技術方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機4,裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2,裝置主體1的后面一側底部固定連接有電源線3,裝置主體1的一側中間部位固定連接有控制器5,裝置主體1的內部底端一側固定連接有單片機4,裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲罐14,裝置主體1的頂部一側固定連接有磷酸儲罐15,磷酸儲罐15的底部固定連接有攪拌倉23,攪拌倉23的內部頂部固定連接有攪拌電機13,攪拌倉23的另一側頂部固定連接有醋酸儲罐16,裝置主體1的頂部中間一側固定連接有硝酸儲罐17,裝置主體1的頂部中間另一側固定連接有陰離子表面活性劑儲罐18,陰離子表面活性劑儲罐18的另一側固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐19,裝置主體1的頂部另一側固定連接有氯化鉀儲罐20。性價比高的蝕刻液哪里可以買到;蘇州銀蝕刻液蝕刻液供應商

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在上述硅烷系偶聯劑的含量處于上述含量范圍內的情況下,能夠調節(jié)添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發(fā)明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發(fā)明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發(fā)明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。上述蝕刻液組合物中說明的、對于添加劑選擇等的一切內容均可以同樣地應用于本發(fā)明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。具體而言,提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法、由此選擇的硅烷系偶聯劑以及包含該硅烷系偶聯劑的蝕刻方法。綿陽天馬用的蝕刻液蝕刻液溶劑BOE蝕刻液歡迎咨詢蘇州博洋化學股份。

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伸縮桿12下端固定安裝有圓環(huán)塊13,圓環(huán)塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,分隔板2與承載板3相互垂直設置,電解池4內部底端的傾斜角度設計為5°,進液管8的形狀設計為l型,且進液管8貫穿分隔板2設置在進液漏斗6與伸縮管9之間,圓環(huán)塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方,且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方,通過設置有伸縮管9與伸縮桿12,能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環(huán)塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池4的功能;分隔板2右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵16,增壓泵16下端與電解池4之間連接有回流管15,增壓泵16上端與進液管8之間連接有一號排液管17,回流管15內部左端設置有一號電磁閥18,回流管15與進水管27的形狀均設計為l型,通過在增壓泵16下端設置有回流管15,能夠在蝕刻液電解后,啟動增壓泵16并打開一號電磁閥18,將蝕刻液通過回流管15抽入到一號排液管17中,并由進液管8導入到伸縮管9中,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中。

618光電行業(yè)ITO**蝕刻液,專門針對氧化銦錫(ITO)玻璃導電薄膜鍍層圖線的脫膜蝕刻,它對于高阻抗ITO玻璃導電膜(PET-ITO)以及低阻抗ITO玻璃導電膜(PET-ITO)都且有優(yōu)良的蝕刻速度與效果。具有速度快、側蝕小、無沉淀、氣味小、不攻擊抗蝕層,不攻擊基材,操作控制簡便靈活等非常***的優(yōu)點,可采取自動控制系統補加,也可人工補加方式。更重要的是絲毫不改變產品的導電阻抗電性數據。二、產品特點1)速度快市場之一般ITO蝕刻液速度大都在0.5nm/s,而KBX-618AITO蝕刻液蝕刻速度正??刂圃?-10nm/s,速度快(具體設備情況有所差異)2)氣味小、無煙霧、對皮膚刺激*目前市場蝕刻液一般有強烈之氣味,溫度升高后放出一種刺鼻氣味,對操作人員身體健康和工作環(huán)境極為不利,但KBX-618A酸性蝕刻液采用的是有機活性添加劑3、用于有機基材膜,及各類玻璃底材,不影響生產材料導電阻抗數據。不攻擊底材,不攻擊抗蝕膜。KBX-556ITO**褪膜液一、產品簡介KBX-556引進國外配方,采用進口原料,非常規(guī)易燃溶劑,即非有毒醇醚硫等物質,是采用環(huán)保的極性活性劑,可以有效、快速地去除水溶性干膜,在板面不會留下殘渣。在褪極細線寬線距板時效果尤其明顯,不會攻擊聚酰亞胺,PET,ITO,硅晶體,液晶屏,及弱金屬。哪家公司的蝕刻液的口碑比較好?

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上述硅烷系偶聯劑的選擇方法的特征在于,選擇上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)形態(tài)的分子量之后乘以。以下,通過實施例更加詳細地說明本發(fā)明。但是,以下的實施例用于更加具體地說明本發(fā)明,本發(fā)明的范圍并不受以下實施例的限定。實施例和比較例的蝕刻液組合物的制造參照以下表1(重量%),制造實施例和比較例的蝕刻液組合物。[表1]參照以下表2和圖5,利用實施例和比較例的蝕刻液組合物,對于包含作為氧化物膜sio2和作為上述氧化物膜上的氮化物膜sin的膜的、總厚度的膜進行如下處理。在160℃用硅烷系偶聯劑%對上述膜處理10,000秒的情況下,可以確認到,aeff值與蝕刻程度(etchingamount,e/a)呈線性相互關系。具體而言,可以判斷,作為硅烷系偶聯劑,包含aeff值處于~14的蝕刻程度(etchingamount,e/a)優(yōu)異,從而阻止氧化物膜損傷不良和因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良的效果優(yōu)異。另一方面,可以判斷,作為硅烷系偶聯劑,包含aeff值不處于~11的蝕刻程度不佳,從而發(fā)生氧化物膜損傷不良。[表2]例如,參照以下表3,包含雙。京東方用的哪家的蝕刻液?合肥BOE蝕刻液蝕刻液什么價格

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一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法技術領域1.本技術涉及化學蝕刻技術領域,具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。背景技術:2.目前,電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜,以便后續(xù)給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中,對于多晶ito(p-ito)材料,所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低,但其蝕刻速度快,蝕刻的角度難以控制,且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術實現要素:3.有鑒于此,為克服目前存在的技術難題,本技術提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。4.具體地,本技術首先方面提供了一種ito蝕刻液,所述ito蝕刻液包括以下重量份數的各組分:20-22份的鹽酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制劑,0.5-3份的表面活性劑,以及水;其中,所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種;所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過對蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進行精確限定,以實現了對王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調控,并在一定程度上實現了對蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35蘇州銀蝕刻液蝕刻液供應商