杭州研圖智能科技有限公司2025-09-06

Class 10潔凈室內(nèi)，工控機(jī)控制主動(dòng)減震系統(tǒng)：通過MEMS加速度計(jì)（0.1μg/√Hz噪聲密度）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)振動(dòng)，F(xiàn)PGA生成反相控制信號(hào)驅(qū)動(dòng)壓電促動(dòng)器。空氣彈簧與音圈電機(jī)協(xié)同工作，將地面振動(dòng)衰減至0.1μm@10Hz以下。配合氣浮平臺(tái)，使12英寸晶圓傳輸過程中的顆粒附著數(shù)＜3個(gè)/片，滿足先進(jìn)制程要求。

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