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如何做無塵車間工程施工

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-09-06

上海中沃電子科技有限公司的無塵車間項(xiàng)目,精細(xì)契合當(dāng)下產(chǎn)業(yè)升級(jí)需求。在科技日新月異的當(dāng)下,眾多行業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求與日俱增。無論是電子芯片制造,還是光學(xué)儀器生產(chǎn),微小的塵埃顆粒都可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生重大影響。中沃無塵車間項(xiàng)目,正是為滿足這類高精度生產(chǎn)需求而生,助力企業(yè)提升產(chǎn)品品質(zhì),在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中脫穎而出。從應(yīng)用行業(yè)來看,中沃無塵車間用途極為廣。在半導(dǎo)體領(lǐng)域,芯片制造工藝精細(xì)復(fù)雜,對(duì)環(huán)境潔凈度要求近乎苛刻。中沃無塵車間通過高效空氣過濾系統(tǒng),能夠?qū)⒖諝庵械膲m埃粒子濃度控制在極低水平,為芯片光刻、蝕刻等關(guān)鍵工序提供潔凈環(huán)境,大幅提高芯片良品率,推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高精度制造階段。德國(guó)進(jìn)口FFU風(fēng)機(jī)過濾單元,噪音值≤55dB,運(yùn)行壽命超80000小時(shí)。如何做無塵車間工程施工

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科學(xué)氣流組織設(shè)計(jì),保障全域潔凈均勻:項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)依據(jù)車間功能分區(qū)與生產(chǎn)工藝特點(diǎn),定制化設(shè)計(jì)氣流組織形式,確保潔凈氣流均勻覆蓋所有生產(chǎn)區(qū)域。對(duì)潔凈度要求極高的區(qū)域,如半導(dǎo)體光刻車間,采用垂直單向流(層流)設(shè)計(jì),高效過濾器從頂部均勻送風(fēng),經(jīng)地面回風(fēng)通道排出,形成自上而下的穩(wěn)定氣流,有效避免氣流渦流與污染物積聚,氣流速度控制在 0.3-0.5m/s,換氣次數(shù)比較高達(dá) 60 次 /h。對(duì)于長(zhǎng)條形生產(chǎn)區(qū)域,如電子裝配線,則采用水平單向流設(shè)計(jì),從側(cè)墻高效過濾器送風(fēng),對(duì)側(cè)墻回風(fēng),保證生產(chǎn)沿線氣流均勻。在某醫(yī)療器械組裝車間,通過優(yōu)化氣流組織,使車間內(nèi)不同區(qū)域的塵埃粒子濃度差異≤5%,大幅降低產(chǎn)品受污染風(fēng)險(xiǎn),提升整體生產(chǎn)環(huán)境潔凈度。九江無塵車間空調(diào)機(jī)組配備三級(jí)過濾凈化系統(tǒng)。

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溫濕度與壓差控制無塵車間需同步控制溫濕度與壓差梯度。中沃集成恒溫恒濕系統(tǒng),溫度波動(dòng)范圍±0.5℃,濕度波動(dòng)±3%RH,滿足電子制造(22℃±1℃、55%RH±5%RH)與醫(yī)藥生產(chǎn)(18℃至26℃、45%RH至65%RH)的不同需求。壓差控制方面,通過變頻風(fēng)機(jī)與壓差傳感器聯(lián)動(dòng),維持核? ?心區(qū)相對(duì)相鄰區(qū)≥10Pa的正壓,防止外部污染侵入。例如,某疫苗生產(chǎn)車間的無塵室通過分級(jí)壓差設(shè)計(jì),使灌裝區(qū)壓差達(dá)15Pa,有效阻斷微生物交叉污染。門體采用氣密型快速卷簾門,開關(guān)速度≤1.5秒,減少空氣交換;觀察窗采用雙層中空鋼化玻璃,邊緣密封膠條耐老化性能達(dá)10年以上

無塵車間的功能與潔凈度分級(jí)無塵車間(Cleanroom)是現(xiàn)代精密制造與高科技產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)設(shè)施,其功能在于通過多級(jí)空氣凈化系統(tǒng),將空氣中懸浮粒子(如塵埃、微生物)的濃度控制在嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)以內(nèi)。根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1,無塵車間被劃分為ISO1至ISO9共9個(gè)等級(jí),其中ISO1級(jí)為高潔凈度,每立方米空氣中≥0.1μm的粒子不超過10個(gè),常用于半導(dǎo)體芯片制造;而ISO9級(jí)則接近普通室內(nèi)環(huán)境,適用于對(duì)潔凈度要求較低的組裝工序。以液晶面板生產(chǎn)為例,其工藝如光刻、鍍膜需在ISO3級(jí)環(huán)境中進(jìn)行,任何微小顆粒的附著都可能導(dǎo)致顯示面板出現(xiàn)亮點(diǎn)、暗斑等缺陷,直接降低良品率。為實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo),無塵車間通常采用層流凈化技術(shù),通過高效過濾器(HEPA/ULPA)對(duì)送風(fēng)進(jìn)行多級(jí)過濾,配合合理的氣流組織(如垂直層流、水平層流),使?jié)崈艨諝庖?.3-0.5m/s的速度均勻覆蓋工作區(qū)域,形成單向氣流屏障,有效阻隔外部污染物的侵入。此外,車間內(nèi)壓力梯度設(shè)計(jì)(通常保持正壓5-15Pa)可進(jìn)一步防止未凈化空氣的倒灌,確保潔凈環(huán)境的穩(wěn)定性。自主研發(fā)的智能風(fēng)速調(diào)節(jié)技術(shù),使層流均勻性誤差控制在±10%以內(nèi)。

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行業(yè)應(yīng)用案例:半導(dǎo)體制造在半導(dǎo)體行業(yè),無塵車間是芯片生產(chǎn)的核? ?心基礎(chǔ)設(shè)施。中沃為某12英寸晶圓廠建造的ISOClass3無塵車間,通過采用AMC(氣態(tài)分子污染物)控制系統(tǒng),將酸性氣體濃度控制在≤0.1ppb,避免晶圓表面氧化;同時(shí)配備超純水系統(tǒng)(電阻率≥18MΩ·cm),滿足光刻膠清洗需求。該車間投產(chǎn)后,晶圓良率從92%提升至96%,年產(chǎn)值增加超5億元。更換周期從3個(gè)月延長(zhǎng)至4個(gè)月,節(jié)省成本20%。平臺(tái)還支持生成符合FDA 21 CFR Part 11標(biāo)準(zhǔn)的電子記錄,助力企業(yè)通過GMP認(rèn)證。304不銹鋼工作臺(tái)表面粗糙度Ra≤0.4μm,滿足Class 100級(jí)潔凈要求。九江無塵車間

環(huán)氧自流平地面減少顆粒產(chǎn)生。如何做無塵車間工程施工

無塵車間的物流管理與潔凈傳遞技術(shù)無塵車間的物流管理需確保物料在進(jìn)入潔凈區(qū)前不被污染。傳遞窗是無塵車間常用的潔凈傳遞設(shè)備,其通過雙門互鎖、紫外線消毒與層流凈化技術(shù),實(shí)現(xiàn)物料在高低潔凈度區(qū)域間的安全傳遞。傳遞窗內(nèi)部通常配備高效過濾器與風(fēng)機(jī),持續(xù)形成垂直層流,使物料表面粒子濃度在傳遞過程中降低90%以上;雙門互鎖機(jī)制則確保兩扇門不同時(shí)開啟,防止交叉污染。對(duì)于大型設(shè)備或批量物料,需采用氣鎖室(Airlock)進(jìn)行傳遞。氣鎖室通過兩道門與正壓緩沖設(shè)計(jì),形成三級(jí)潔凈過渡區(qū):物料進(jìn)入時(shí),先在外門關(guān)閉后啟動(dòng)內(nèi)部?jī)艋绦颍ㄈ缢惋L(fēng)、消毒),待潔凈度達(dá)標(biāo)后再開啟內(nèi)門;退出時(shí)則反向操作。某半導(dǎo)體工廠的實(shí)踐顯示,采用氣鎖室傳遞300mm晶圓設(shè)備時(shí),粒子污染率較傳統(tǒng)傳遞方式降低80%,且單次傳遞時(shí)間縮短至10分鐘以內(nèi)。如何做無塵車間工程施工