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渦輪分子泵的工作原理是在電機(jī)的帶動(dòng)下，動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)（動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度，一般為150~400米/秒）。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。啟動(dòng)快：渦輪分子泵能夠在短時(shí)間內(nèi)迅速啟動(dòng)，并達(dá)到穩(wěn)定的抽氣狀態(tài)。抗射線照射：渦輪分子泵能夠抵抗各種射線的照射，適用于高能加速器等輻射環(huán)境下的真空抽取。耐大氣沖擊：渦輪分子泵具有較強(qiáng)的耐大氣沖擊能力，能夠在氣壓突變的環(huán)境中保持穩(wěn)定的抽氣性能。無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)：渦輪分子泵在工作過(guò)程中不會(huì)存儲(chǔ)氣體，也不會(huì)產(chǎn)生解吸效應(yīng)，因此...

1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理，如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如，有些真空計(jì)的傳感器可以更換，這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方便地更換新的傳感器，從而延長(zhǎng)真空計(jì)的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發(fā)展，真空計(jì)正朝著小型化和集成化的方向發(fā)展。小型化的真空計(jì)更加便于攜帶和安裝，而集成化的真空計(jì)則能夠與其他設(shè)備或系統(tǒng)進(jìn)行集成，實(shí)現(xiàn)更加智能化的監(jiān)測(cè)和控制。然而，真空計(jì)也存在一些局限性，如某些類型的真空計(jì)易被污染、測(cè)量范圍相對(duì)較窄等。因此，在選擇和使用真空計(jì)時(shí)，需要綜...

陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。選型與使用量程選擇：根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性：考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與維護(hù)：正確安裝并定期校準(zhǔn)和維護(hù)。常見(jiàn)問(wèn)題零點(diǎn)漂移：定期校準(zhǔn)以減少誤差。污染影響：保持傳感器清潔，避免污染。溫度影響：注意環(huán)境溫度變化對(duì)測(cè)量的影響?？偨Y(jié)陶瓷真空計(jì)憑借其耐高溫、耐腐蝕和高精度等特性，在多個(gè)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。正確選型和使用能確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。選擇真空計(jì)時(shí)需要綜合考慮多個(gè)因素。杭州電容薄膜真空計(jì)供應(yīng)商真空計(jì)的安裝步驟可能因型號(hào)和規(guī)格的不同而...

真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控：電容規(guī)測(cè)腔體壓力（1~10?2 Pa），電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)（10?2~10?? Pa）。ALD設(shè)備要求真空計(jì)耐腐蝕（如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規(guī)）。數(shù)據(jù)采樣率需>10 Hz以匹配工藝控制節(jié)奏。14. 真空計(jì)的壽命與維護(hù)熱陰極規(guī)壽命約1~2萬(wàn)小時(shí)（燈絲斷裂）；冷陰極規(guī)可達(dá)10萬(wàn)小時(shí)。維護(hù)包括：① 定期烘烤除氣（200℃/24h）；② 避免油蒸氣污染；③ 檢查電纜絕緣（高阻抗易受干擾）。故障模式中，燈絲開(kāi)路占70%，陶瓷絕緣劣化占20%。陶瓷真空計(jì)溫包款和無(wú)溫包款有什么區(qū)別？蘇州高純度真空計(jì) 安裝步驟準(zhǔn)備工作：確保安裝區(qū)域清潔，準(zhǔn)備好所需工具...

真空計(jì)與氣體脫附效應(yīng)材料放氣（如橡膠釋出H?O）會(huì)導(dǎo)致測(cè)量值虛高。解決措施：①選用低放氣材料（Viton替代橡膠）；②烘烤（150℃可加速脫附）；③分離測(cè)量（將規(guī)管安裝在抽氣口遠(yuǎn)端）。超高真空系統(tǒng)放氣率需<10?1?Pa·m3/s·cm2。18.真空計(jì)的電磁兼容性電離規(guī)的高壓電源（2kV）可能輻射EMI，需屏蔽層≥60dB。MEMS規(guī)對(duì)RF場(chǎng)敏感，5GHzWi-Fi可能導(dǎo)致±5%讀數(shù)偏移。航天級(jí)真空計(jì)需通過(guò)MIL-STD-461G標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試。測(cè)量?jī)蓚€(gè)腔室壓差，量程1~10??Pa，精度±0.1%。應(yīng)用包括檢漏儀（氦質(zhì)譜儀參考端壓力監(jiān)控）和分子泵前級(jí)壓力控制。硅諧振式傳感器（如橫河EJA系列）溫度...

真空計(jì)的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進(jìn)步：隨著半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的不斷進(jìn)步，真空計(jì)的精度和穩(wěn)定性得到了提升，推動(dòng)了新一代高性能真空計(jì)的研發(fā)和應(yīng)用。智能化：現(xiàn)代真空計(jì)越來(lái)越多地集成了智能化功能，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)、分析和反饋數(shù)據(jù)，提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率。隨著半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的不斷進(jìn)步，真空計(jì)的精度和穩(wěn)定性得到了提升，推動(dòng)了新一代高性能真空計(jì)的研發(fā)和應(yīng)用。智能化：現(xiàn)代真空計(jì)越來(lái)越多地集成了智能化功能，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)、分析和反饋數(shù)據(jù)，提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率。電容真空計(jì)是一種利用電容變化來(lái)測(cè)量真空度的儀器。無(wú)錫大氣壓真空計(jì) 安裝步驟準(zhǔn)備工作：確保安裝區(qū)域清潔，...

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度（詳細(xì)注釋見(jiàn)前文：知識(shí)分享②|真空如何獲得？）是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常，將用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋：大氣壓力：通常指一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃（273.15K）時(shí)，在重力加速度為980.655cm/s2處（即在地球緯度為45°的海平面上），使用**的密度為13.5951g/cm3，則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱（mmHg）和1托(Torr)相近，兩者相差約千萬(wàn)分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg...

真空鍍膜技術(shù)真空蒸發(fā)鍍膜將材料加熱至汽化，在基板上冷凝成膜；濺射鍍膜用離子轟擊靶材噴射原子。應(yīng)用于眼鏡防反射膜（MgF?）、手機(jī)屏幕ITO導(dǎo)電膜。磁控濺射速率可達(dá)μm/min，膜層均勻性±1%。真空環(huán)境避免氧化，膜厚可控至納米級(jí)，太陽(yáng)能電池也依賴此技術(shù)提升光吸收。6. 宇宙空間的真空特性星際空間壓力低至10?1? Pa，但并非***真空，每立方厘米仍有數(shù)個(gè)氫原子。太陽(yáng)風(fēng)等離子體與宇宙射線充斥其中。阿波羅任務(wù)顯示月球表面氣壓10?1? Pa，真空導(dǎo)致宇航服需維持內(nèi)壓。深空探測(cè)器的熱控設(shè)計(jì)必須考慮真空絕熱特性。真空計(jì)原理及測(cè)量范圍是？溫州陶瓷真空計(jì)供應(yīng)商真空計(jì)的安裝步驟可能因型號(hào)和規(guī)格的不同而有所...

6. 麥克勞真空計(jì)麥克勞真空計(jì)，通過(guò)壓縮氣體測(cè)量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。原理：利用氣體壓縮后的液柱高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：精度高，無(wú)需校準(zhǔn)。缺點(diǎn)：操作復(fù)雜，響應(yīng)慢。應(yīng)用：實(shí)驗(yàn)室高真空校準(zhǔn)。7. 質(zhì)譜儀質(zhì)譜儀通過(guò)分析氣體成分來(lái)間接測(cè)量壓力，適用于超高真空和極高真空范圍。（1）四極質(zhì)譜儀原理：利用四極電場(chǎng)分離氣體離子，通過(guò)離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?12 Torr 到 10?? Torr。優(yōu)點(diǎn)：可分析氣體成分。缺點(diǎn)：成本高，操作復(fù)雜。應(yīng)用：超高真空和極高真空系統(tǒng)。電離真空計(jì)的校準(zhǔn)的注意事項(xiàng)有哪些？無(wú)錫mems真空計(jì)皮拉尼真空計(jì)利用...

真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控：電容規(guī)測(cè)腔體壓力（1~10?2Pa），電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)（10?2~10??Pa）。ALD設(shè)備要求真空計(jì)耐腐蝕（如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規(guī)）。數(shù)據(jù)采樣率需>10Hz以匹配工藝控制節(jié)奏。14.真空計(jì)的壽命與維護(hù)熱陰極規(guī)壽命約1~2萬(wàn)小時(shí)（燈絲斷裂）；冷陰極規(guī)可達(dá)10萬(wàn)小時(shí)。維護(hù)包括：①定期烘烤除氣（200℃/24h）；②避免油蒸氣污染；③檢查電纜絕緣（高阻抗易受干擾）。故障模式中，燈絲開(kāi)路占70%，陶瓷絕緣劣化占20%。皮拉尼真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用？陜西mems真空計(jì)公司（1）利用氣體熱學(xué)特征類真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體分子在真空中的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)或動(dòng)...

選擇真空計(jì)應(yīng)該注意什么6.安裝與接口安裝方式：根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計(jì)選擇合適的安裝方式，如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性：確保真空計(jì)的接口與系統(tǒng)兼容。7.電源與信號(hào)輸出電源需求：選擇符合系統(tǒng)電源要求的真空計(jì)。信號(hào)輸出：根據(jù)需求選擇模擬信號(hào)（如4-20mA、0-10V）或數(shù)字信號(hào)（如RS485、Modbus）輸出的真空計(jì)。8.維護(hù)與校準(zhǔn)維護(hù)需求：選擇易于維護(hù)和清潔的真空計(jì)。校準(zhǔn)周期：了解校準(zhǔn)周期和校準(zhǔn)方法，選擇易于校準(zhǔn)的真空計(jì)。9.成本與性價(jià)比預(yù)算：在預(yù)算范圍內(nèi)選擇性價(jià)比高的真空計(jì)。長(zhǎng)期成本：考慮長(zhǎng)期使用成本，包括維護(hù)、校準(zhǔn)和更換部件費(fèi)用。10.品牌與售后服務(wù)品牌信譽(yù)。售后服務(wù)：選擇提供良好售后服務(wù)的供...

超高真空測(cè)量技術(shù)10?? Pa以下需抑制規(guī)或磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)（Spinning Rotor Gauge）。后者通過(guò)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速衰減測(cè)壓力，量程10?1~10?? Pa，精度±3%，***測(cè)量無(wú)需校準(zhǔn)。X射線極限（10?? Pa）是電離規(guī)的理論下限，突破需采用低溫量子傳感器（如超導(dǎo)腔頻率偏移法）。12. 真空計(jì)的響應(yīng)時(shí)間特性皮拉尼計(jì)響應(yīng)約1~10秒（熱慣性限制）；電離規(guī)需預(yù)熱3~5分鐘（陰極穩(wěn)定）；電容規(guī)**快（<10 ms）。動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量需選擇高頻響儀表，如MEMS規(guī)帶寬可達(dá)1 kHz。電離規(guī)在脈沖壓力下可能因電子發(fā)射延遲產(chǎn)生相位滯后。電容薄膜真空計(jì)的校準(zhǔn)注意事項(xiàng)有？南京皮拉尼真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商四極質(zhì)譜...

真空計(jì)的基本分類真空計(jì)按測(cè)量原理分為***真空計(jì)（直接測(cè)量壓力）和相對(duì)真空計(jì)（需校準(zhǔn)）。主要類型包括機(jī)械式（如波登管）、熱傳導(dǎo)式（皮拉尼計(jì)）、電離式（熱陰極/冷陰極）、電容式（MEMS）等。選擇時(shí)需考慮量程（如皮拉尼計(jì)適用于1Pa~10??Pa）、精度（±1%~±15%）、氣體類型兼容性（惰性氣體需特殊校準(zhǔn)）及環(huán)境振動(dòng)影響。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO3567定義了真空計(jì)的性能測(cè)試方法。皮拉尼計(jì)（熱傳導(dǎo)真空計(jì)）基于氣體熱傳導(dǎo)率隨壓力變化的原理，通過(guò)加熱電阻絲（通常為鎢或鉑）測(cè)量其溫度變化。低壓下氣體分子少，熱導(dǎo)率降低，電阻絲溫度升高導(dǎo)致電阻變化。量程通常為1000Pa~10?1Pa，精度±10%。需注意氣體...

皮拉尼真空計(jì)利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理，通過(guò)測(cè)量一個(gè)發(fā)熱體與一個(gè)接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來(lái)判斷氣體的壓力。具體來(lái)說(shuō)，當(dāng)加熱燈絲（一般為鉑絲）被恒定電流加熱時(shí)，其溫度會(huì)升高。對(duì)于給定大小的電流，加熱絲的溫度取決于通過(guò)傳導(dǎo)和對(duì)流向周圍介質(zhì)（即氣體）散熱的速率。在真空或低壓環(huán)境中，加熱絲的熱導(dǎo)率（即將熱量散發(fā)給周圍介質(zhì)的能力）會(huì)降低，導(dǎo)致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會(huì)引起導(dǎo)線電阻的變化，這種變化可以通過(guò)惠斯通電橋來(lái)測(cè)量。當(dāng)氣體分子密度發(fā)生變化時(shí)，熱量從金屬絲傳遞到氣體會(huì)受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力，使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應(yīng)變化。因此，可以通過(guò)測(cè)量這種能量變化來(lái)間接測(cè)量真空...

安裝步驟準(zhǔn)備工作：確保安裝區(qū)域清潔，準(zhǔn)備好所需工具和材料。安裝真空計(jì)：將真空計(jì)對(duì)準(zhǔn)安裝位置，確保密封面平整。按說(shuō)明書(shū)安裝固定螺栓或夾具，均勻緊固。連接管路與電氣：連接真空管路，確保密封良好。按標(biāo)記重新連接電氣線路。檢查與測(cè)試：檢查所有連接是否牢固，密封是否良好。進(jìn)行初步測(cè)試，確保真空計(jì)正常工作。注意事項(xiàng)安全操作：確保系統(tǒng)斷電和泄壓后再操作。佩戴防護(hù)裝備，如手套和護(hù)目鏡。避免污染：保持工作區(qū)域清潔，避免灰塵和雜質(zhì)進(jìn)入系統(tǒng)。正確使用工具：使用合適工具，避免損壞真空計(jì)和連接部件。遵循說(shuō)明書(shū)：嚴(yán)格按說(shuō)明書(shū)操作，確保正確安裝和拆卸。定期維護(hù)：定期檢查和校準(zhǔn)真空計(jì)，確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行?？偨Y(jié)真空計(jì)的拆裝需...

電容薄膜真空計(jì)：屬?gòu)椥栽婵沼?jì)，其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個(gè)小室，即參考?jí)簭?qiáng)室和測(cè)量室。測(cè)量低壓強(qiáng)（P<100帕）時(shí)，參考室抽至高真空，其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測(cè)量室壓強(qiáng)不同時(shí)，薄膜變形的程度也不同。在測(cè)量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個(gè)電容器。薄膜變形時(shí)電容值相應(yīng)改變，通過(guò)電容電橋可測(cè)量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。電容薄膜真空計(jì)可直接測(cè)量氣體或蒸氣的壓強(qiáng)，測(cè)量值與氣體種類無(wú)關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤，如對(duì)不同壓強(qiáng)范圍采用不同規(guī)頭，可得到較高精度。它可用于高純氣體監(jiān)測(cè)、低真空精密測(cè)量和壓強(qiáng)控制，也可用作低真空測(cè)量的副標(biāo)準(zhǔn)。真空計(jì)按刻度方法如何分類？廣東mems皮拉尼真空計(jì)設(shè)備...

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度（詳細(xì)注釋見(jiàn)前文：知識(shí)分享②|真空如何獲得？）是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常，將用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋：大氣壓力：通常指一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃（273.15K）時(shí)，在重力加速度為980.655cm/s2處（即在地球緯度為45°的海平面上），使用**的密度為13.5951g/cm3，則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱（mmHg）和1托(Torr)相近，兩者相差約千萬(wàn)分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg...

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度（詳細(xì)注釋見(jiàn)前文：知識(shí)分享②|真空如何獲得？）是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常，將用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋：大氣壓力：通常指一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃（273.15K）時(shí)，在重力加速度為980.655cm/s2處（即在地球緯度為45°的海平面上），使用**的密度為13.5951g/cm3，則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱（mmHg）和1托(Torr)相近，兩者相差約千萬(wàn)分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg...

陶瓷薄膜真空計(jì)應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造：用于工藝過(guò)程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜：確保鍍膜質(zhì)量?？蒲袑?shí)驗(yàn)：用于高精度真空測(cè)量。醫(yī)療設(shè)備：如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點(diǎn)：成本較高，對(duì)安裝和使用環(huán)境要求嚴(yán)格。維護(hù)與保養(yǎng)定期校準(zhǔn)以確保精度。保持清潔，避免污染影響性能。避免機(jī)械沖擊和振動(dòng)?？偨Y(jié)陶瓷薄膜真空計(jì)憑借其高精度和穩(wěn)定性，在多個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，盡管成本較高，但其性能優(yōu)勢(shì)明顯。真空計(jì)如何達(dá)到使用壽命長(zhǎng)久化？天津mems真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)真空計(jì)的工作原理基于氣體分子的運(yùn)動(dòng)特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運(yùn)動(dòng)、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時(shí)，這種碰撞運(yùn)動(dòng)將氣體分子的動(dòng)能轉(zhuǎn)...

真空的定義與分級(jí)真空是指壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體狀態(tài)，根據(jù)壓力范圍分為低真空（103~1Pa）、中真空（1~10?1Pa）、高真空（10?1~10??Pa）和超高真空（<10??Pa）。低真空常用于吸塵器，高真空用于電子顯微鏡。真空分級(jí)依據(jù)氣體分子平均自由程，超高真空中分子自由程可達(dá)數(shù)千米，幾乎無(wú)碰撞。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO3529定義了真空等級(jí)及其應(yīng)用場(chǎng)景。托里拆利實(shí)驗(yàn)與真空發(fā)現(xiàn)1643年，意大利科學(xué)家托里拆利通過(guò)**柱實(shí)驗(yàn)***證實(shí)真空存在。他將裝滿**的玻璃管倒置，**柱降至約760mm高度，上方形成真空。這一實(shí)驗(yàn)不僅證明了大氣壓力，還為氣壓計(jì)發(fā)明奠定基礎(chǔ)。該實(shí)驗(yàn)顯示自然厭惡真空（"horror...

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度（詳細(xì)注釋見(jiàn)前文：知識(shí)分享②|真空如何獲得？）是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常，將用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋：大氣壓力：通常指一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃（273.15K）時(shí)，在重力加速度為980.655cm/s2處（即在地球緯度為45°的海平面上），使用**的密度為13.5951g/cm3，則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱（mmHg）和1托(Torr)相近，兩者相差約千萬(wàn)分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg...

利用氣體動(dòng)力學(xué)效用類真空計(jì)測(cè)量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來(lái)推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)。a）波爾登規(guī)利用彈性元件（如波紋管）在壓力作用下的變形來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí)，波紋管會(huì)產(chǎn)生變形，這種變形可以通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn)，從而指示出真空度的大小。b）電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí)，薄膜會(huì)相應(yīng)地產(chǎn)生形變，這種形變會(huì)導(dǎo)致電容的改變，進(jìn)而通過(guò)測(cè)量電容的變化量來(lái)推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)迅速、測(cè)量范圍廣等特點(diǎn)。電容真空計(jì)的測(cè)量精度受哪些...

真空計(jì)的主要特點(diǎn)：1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理，如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如，有些真空計(jì)的傳感器可以更換，這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方便地更換新的傳感器，從而延長(zhǎng)真空計(jì)的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發(fā)展，真空計(jì)正朝著小型化和集成化的方向發(fā)展。小型化的真空計(jì)更加便于攜帶和安裝，而集成化的真空計(jì)則能夠與其他設(shè)備或系統(tǒng)進(jìn)行集成，實(shí)現(xiàn)更加智能化的監(jiān)測(cè)和控制。然而，真空計(jì)也存在一些局限性，如某些類型的真空計(jì)易被污染、測(cè)量范圍相對(duì)較窄等。因此，在選擇和使...

皮拉尼真空計(jì)利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理，通過(guò)測(cè)量一個(gè)發(fā)熱體與一個(gè)接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來(lái)判斷氣體的壓力。具體來(lái)說(shuō)，當(dāng)加熱燈絲（一般為鉑絲）被恒定電流加熱時(shí)，其溫度會(huì)升高。對(duì)于給定大小的電流，加熱絲的溫度取決于通過(guò)傳導(dǎo)和對(duì)流向周圍介質(zhì)（即氣體）散熱的速率。在真空或低壓環(huán)境中，加熱絲的熱導(dǎo)率（即將熱量散發(fā)給周圍介質(zhì)的能力）會(huì)降低，導(dǎo)致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會(huì)引起導(dǎo)線電阻的變化，這種變化可以通過(guò)惠斯通電橋來(lái)測(cè)量。當(dāng)氣體分子密度發(fā)生變化時(shí)，熱量從金屬絲傳遞到氣體會(huì)受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力，使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應(yīng)變化。因此，可以通過(guò)測(cè)量這種能量變化來(lái)間接測(cè)量真空...

真空計(jì)與氣體脫附效應(yīng)材料放氣（如橡膠釋出H?O）會(huì)導(dǎo)致測(cè)量值虛高。解決措施：①選用低放氣材料（Viton替代橡膠）；②烘烤（150℃可加速脫附）；③分離測(cè)量（將規(guī)管安裝在抽氣口遠(yuǎn)端）。超高真空系統(tǒng)放氣率需<10?1?Pa·m3/s·cm2。18.真空計(jì)的電磁兼容性電離規(guī)的高壓電源（2kV）可能輻射EMI，需屏蔽層≥60dB。MEMS規(guī)對(duì)RF場(chǎng)敏感，5GHzWi-Fi可能導(dǎo)致±5%讀數(shù)偏移。航天級(jí)真空計(jì)需通過(guò)MIL-STD-461G標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試。測(cè)量?jī)蓚€(gè)腔室壓差，量程1~10??Pa，精度±0.1%。應(yīng)用包括檢漏儀（氦質(zhì)譜儀參考端壓力監(jiān)控）和分子泵前級(jí)壓力控制。硅諧振式傳感器（如橫河EJA系列）溫度...

旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大，正處于吸氣過(guò)程；而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小，正處于排氣過(guò)程；居中的空間B的容積也逐漸減小，正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積逐漸增大（即膨脹），氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開(kāi)始被壓縮，容積逐漸縮小，***與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開(kāi)，氣體穿過(guò)油箱內(nèi)的油層排至大氣中。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)（低真空級(jí)），由低真空級(jí)抽走，...

3. 電離真空計(jì)電離真空計(jì)通過(guò)電離氣體分子來(lái)測(cè)量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計(jì)原理：利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，通過(guò)離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?1? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：精度高、測(cè)量范圍廣。缺點(diǎn)：熱陰極易損壞，需要較高維護(hù)。應(yīng)用：高真空和超高真空系統(tǒng)。（2）冷陰極電離真空計(jì)原理：利用冷陰極放電電離氣體分子，通過(guò)離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?12 Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：無(wú)需熱陰極，壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn)：?jiǎn)?dòng)時(shí)間較長(zhǎng)，穩(wěn)定性稍差。應(yīng)用：高真空和超高真空系統(tǒng)。什么是真空測(cè)量？真空如何測(cè)量？金屬真空計(jì)供應(yīng)商真空計(jì)的工作原理基于氣體分...

真空計(jì)的安裝步驟可能因型號(hào)和規(guī)格的不同而有所差異，但通常包括以下幾個(gè)基本步驟：檢查設(shè)備：在安裝前，需要檢查真空計(jì)及其相關(guān)配件是否完整、無(wú)損壞，并確保其符合使用要求。選擇安裝位置：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，因此應(yīng)適當(dāng)選擇真空計(jì)的安裝位置，以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。同時(shí)，應(yīng)確保安裝位置便于操作和觀察。連接電纜：將真空計(jì)的電源線電纜和規(guī)管電纜分別插入后面板的相應(yīng)插座上，并確保連接牢固可靠。對(duì)于裸規(guī)安裝，還需將紅線（紅夾子）接在電子加速極上，其他兩根線（黑夾子）接在燈絲上，屏蔽線接在離子收集極上。接地處理：為確保安全，應(yīng)將真空計(jì)的外殼進(jìn)行接地處理。這通常是通過(guò)將導(dǎo)線連接在機(jī)箱的接地端子上來(lái)實(shí)現(xiàn)的。...

旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大，正處于吸氣過(guò)程；而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小，正處于排氣過(guò)程；居中的空間B的容積也逐漸減小，正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積逐漸增大（即膨脹），氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開(kāi)始被壓縮，容積逐漸縮小，***與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開(kāi)，氣體穿過(guò)油箱內(nèi)的油層排至大氣中。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)（低真空級(jí)），由低真空級(jí)抽走，...

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度（詳細(xì)注釋見(jiàn)前文：知識(shí)分享②|真空如何獲得？）是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常，將用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋：大氣壓力：通常指一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃（273.15K）時(shí)，在重力加速度為980.655cm/s2處（即在地球緯度為45°的海平面上），使用**的密度為13.5951g/cm3，則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱（mmHg）和1托(Torr)相近，兩者相差約千萬(wàn)分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg...