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單片清洗工藝避免了不同硅片之間相互污染,降低了產(chǎn)品缺陷,提高了產(chǎn)品良率??蛇x擇的,清洗液采用氧化硫磺混合物溶液和過(guò)氧化氨混合物溶液??蛇x的,進(jìn)一步改進(jìn),清洗液采用h2so4:h2o2配比范圍為6:1~4:1且溫度范圍為110℃~140℃的過(guò)氧化硫磺混合物溶液;以及,nh4oh:h2o2:h2o配比為1:℃~70℃的過(guò)氧化氨混合物溶液。本發(fā)明采用等離子體氮?dú)浠旌蠚怏w能與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應(yīng)生成含氨揮發(fā)性化合物氣體,且與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應(yīng)速率相等能更高效的剝離去除光刻膠,能有效減少光刻膠殘留。進(jìn)而避免由于光刻膠殘留造成對(duì)后續(xù)工藝的影響,提高產(chǎn)品良率。附圖說(shuō)明本發(fā)明附圖旨在示出根據(jù)本發(fā)明的特定示例性實(shí)施例中所使用的方法、結(jié)構(gòu)和/或材料的一般特性,對(duì)說(shuō)明書中的描述進(jìn)行補(bǔ)充。然而,本發(fā)明附圖是未按比例繪制的示意圖,因而可能未能夠準(zhǔn)確反映任何所給出的實(shí)施例的精確結(jié)構(gòu)或性能特點(diǎn),本發(fā)明附圖不應(yīng)當(dāng)被解釋為限定或限制由根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例所涵蓋的數(shù)值或?qū)傩缘姆秶?。下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明:圖1是本發(fā)明的流程示意圖。圖2是一現(xiàn)有技術(shù)光刻膠剝離去除示意圖一,其顯示襯底上形成介質(zhì)層并旋圖光刻膠。剝離液的價(jià)格哪家比較優(yōu)惠?廣州剝離液配方技術(shù)
剝離液是一種通用濕電子化學(xué)品,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),同時(shí)防止對(duì)襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽(yáng)能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關(guān)鍵性電子化工材料,下游應(yīng)用領(lǐng)域,但整體應(yīng)用需求較低,因此市場(chǎng)規(guī)模偏小。剝離液應(yīng)用在太陽(yáng)能電池中,對(duì)于剝離液的潔凈度要求較低,需達(dá)到G1等級(jí),下游客戶主要要天合、韓華、通威等;應(yīng)用到面板中,通常要達(dá)到G2、G3等級(jí),且高世代線對(duì)于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方、中星光電;在半導(dǎo)體中的應(yīng)用可分等級(jí),在8英寸及以下的晶圓制造中,對(duì)于剝離液的要求達(dá)到G3、G4水平,大硅片、12英寸晶元等產(chǎn)品要達(dá)到G5水平。廣東天馬用的蝕刻液剝離液銷售價(jià)格剝離液可用于去除光刻膠;
在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式目前剝離液機(jī)臺(tái)在工作時(shí),如果過(guò)濾剝離光阻時(shí)產(chǎn)生的薄膜碎屑的過(guò)濾器被阻塞,則需要?jiǎng)冸x液機(jī)臺(tái)內(nèi)的所有工作單元,待被阻塞的過(guò)濾器被清理后,才能重新進(jìn)行剝離制程,使得機(jī)臺(tái)需頻繁停線以更換過(guò)濾器,極大的降低了生產(chǎn)效率。請(qǐng)參閱圖1,圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的過(guò)濾液機(jī)臺(tái)100的種結(jié)構(gòu)示意圖。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)100,包括:依次順序排列的多級(jí)腔室10、每一級(jí)所述腔室10對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱20;過(guò)濾器30,所述過(guò)濾器30的一端設(shè)置通過(guò)管道40與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,所述過(guò)濾器30的另一端通過(guò)第二管道50與下一級(jí)腔室102連接;其中,至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。
使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過(guò)濾器過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過(guò)濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室;若所述過(guò)濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過(guò)濾器的管道上的閥門開關(guān);取出被阻塞的所述過(guò)濾器。在一些實(shí)施例中,所述若所述過(guò)濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過(guò)濾器的管道上的閥門開關(guān)包括:若所述過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過(guò)濾器的管道上的閥門開關(guān)。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái),包括:依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱;過(guò)濾器,所述過(guò)濾器的一端設(shè)置通過(guò)管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,所述過(guò)濾器的另一端通過(guò)第二管道與下一級(jí)腔室連接;其中,至少在所述管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)開關(guān)。通過(guò)閥門開關(guān)控制連接每一級(jí)腔室的過(guò)濾器相互獨(dú)立,從而在過(guò)濾器被阻塞時(shí)通過(guò)閥門開關(guān)將被堵塞的過(guò)濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程,提高生產(chǎn)效率。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖**是本申請(qǐng)的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)講。華星光電用的哪家的剝離液?
避免接觸皮膚、眼睛和衣服;存儲(chǔ):密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護(hù)極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風(fēng):良好的通風(fēng)措施,保持良好通風(fēng)人員保護(hù)設(shè)備:橡膠手套、防護(hù)目鏡,避免接觸皮膚、眼睛、衣服、避免吸入蒸汽壓;9.物理和化學(xué)性能物理測(cè)試:液體顏色:微黃氣味:類氨熔點(diǎn):-24~-23℃沸點(diǎn):165~204℃閃點(diǎn):110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度:10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑:溶于部分有機(jī)溶劑PH值:10.穩(wěn)定性與活性穩(wěn)定性:穩(wěn)定危險(xiǎn)反應(yīng):有機(jī)和無(wú)機(jī)酸、強(qiáng)氧化劑、堿金屬、強(qiáng)酸混溶性:強(qiáng)氧化劑和酸不能混溶,在高溫氣壓下可與二硫化碳反應(yīng)避免條件:熱、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實(shí)際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸(兔):8000mg/kgLC50/吸入(鼠):>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>。上海和輝光電用的哪家的剝離液?浙江市面上哪家剝離液訂做價(jià)格
剝離液的使用效果有哪些;廣州剝離液配方技術(shù)
1.顯影液:顯影液是一種溶液,用于在PCB板上顯示銅線軌道的比例和位置,使其成為可以用于焊接元件的良好的PCB板。2.剝離液:剝離液是一種特殊的溶劑,用于將PCB板上的銅線軌道剝離開,以便重新焊接元件。3.蝕刻液:蝕刻液是一種酸性溶液,用于將PCB板上的銅線軌道腐蝕掉,以便重新焊接元件。4.清洗液:清洗液是一種混合物,用于將PCB板上的塵埃、污垢和其他殘留物消除干凈,以便進(jìn)行焊接和裝配。1.顯影液:是指用于顯影制版的液體,一般由溶劑、硫酸銅、有機(jī)酸和抗氧化劑等組成。2.剝離液:是指用于把制版上的顯影膜剝離出來(lái)的液體,一般由硝酸鋁、硫酸鈉等組成。3.蝕刻液:是指用于蝕刻制版的液體,一般由硝酸銅、硝酸鈉、硝酸鋅等組成。4.清洗液:是指用于清洗制版的液體,一般由水、硝酸、硫酸、乙醇等組成。廣州剝離液配方技術(shù)