激光干涉儀輔助校準(zhǔn)。對(duì)高精度設(shè)備（如定位精度要求≤±0.5μm的機(jī)型），需使用激光干涉儀測(cè)量運(yùn)動(dòng)臺(tái)的實(shí)際位移，并與軟件顯示值對(duì)比修正。例如，某科研機(jī)構(gòu)通過(guò)激光干涉儀校準(zhǔn)，將設(shè)備重復(fù)定位精度從±0.02mm提升至±0.005mm。

環(huán)境因素補(bǔ)償校準(zhǔn)。溫度、濕度變化會(huì)影響材料聲速和機(jī)械結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，需定期進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償校準(zhǔn)。例如，在25℃室溫下，檢測(cè)前需輸入當(dāng)前溫度值，軟件自動(dòng)調(diào)整聲速參數(shù)（如硅材料聲速?gòu)?433m/s修正為8420m/s），避免因聲速誤差導(dǎo)致定位偏移。