激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應(yīng)用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)Z終均與激光波長有關(guān),因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對Z終的測量精度有著重要的影響??偨Y(jié)起來,影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當(dāng)然,在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法。機床誤差修正激光干涉儀供應(yīng)商
激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測量機等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標(biāo)測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀誠信經(jīng)營激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應(yīng)用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。
激光干涉儀使用技巧;Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法:用激光干涉儀進行線性測量時,Z軸測量時激光光路的準(zhǔn)直相對X、Y軸準(zhǔn)直來說,要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下,要保證激光光束經(jīng)反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求,準(zhǔn)直激光光路往往需要很長時間。Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽,正對Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。
激光干涉儀的應(yīng)用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到蕞佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果。激光干涉儀使用注意事項:必要時要使用精密儀表油潤滑。
數(shù)控機床的傳動機構(gòu)一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,當(dāng)前為有效且普遍應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償。數(shù)控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償(值)與記憶式螺距誤差補償(增量值)兩種,三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補償?shù)谋硎局?。?dāng)采用激光干涉儀進行增量值補償時,會遇到數(shù)據(jù)怎么對應(yīng)補償點位置的問題。機床系統(tǒng)種類繁多,正逐步向自動補償邁進。激光干涉儀使用注意事項:避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,保持其不失油。北京位移傳感器激光干涉儀定制
激光干涉儀為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場使用尤為方便。機床誤差修正激光干涉儀供應(yīng)商
激光干涉儀的維護:儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動時,應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。2、光學(xué)零件不用時,應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。使用時,各調(diào)整部位用力要適當(dāng),不要強旋、硬扳。導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態(tài)。機床誤差修正激光干涉儀供應(yīng)商