2.容許自變量和因變量含測量誤差態(tài)度、行為等變量，往往含有誤差，也不能簡單地用單一指標測量。結(jié)構(gòu)方程分析容許自變量和因變量均含測量誤差。變量也可用多個指標測量。用傳統(tǒng)方法計算的潛變量間相關(guān)系數(shù)與用結(jié)構(gòu)方程分析計算的潛變量間相關(guān)系數(shù)，可能相差很大。3.同時估計因子結(jié)構(gòu)和因子關(guān)系假設(shè)要了解潛變量之間的相關(guān)程度，每個潛變量者用多個指標或題目測量，一個常用的做法是對每個潛變量先用因子分析計算潛變量（即因子）與題目的關(guān)系（即因子負荷），進而得到因子得分，作為潛變量的觀測值，然后再計算因子得分，作為潛變量之間的相關(guān)系數(shù)。這是兩個**的步驟。在結(jié)構(gòu)方程中，這兩步同時進行，即因子與題目之間的關(guān)系和因子與因子之間的關(guān)系同時考慮。這個過程重復(fù)K次，每次選擇不同的子集作為測試集，取平均性能指標。普陀區(qū)直銷驗證模型介紹

在給定的建模樣本中，拿出大部分樣本進行建模型，留小部分樣本用剛建立的模型進行預(yù)報，并求這小部分樣本的預(yù)報誤差，記錄它們的平方加和。這個過程一直進行，直到所有的樣本都被預(yù)報了一次而且*被預(yù)報一次。把每個樣本的預(yù)報誤差平方加和，稱為PRESS(predicted Error Sum of Squares)。交叉驗證的基本思想是把在某種意義下將原始數(shù)據(jù)(dataset)進行分組,一部分做為訓(xùn)練集(train set),另一部分做為驗證集(validation set or test set),首先用訓(xùn)練集對分類器進行訓(xùn)練,再利用驗證集來測試訓(xùn)練得到的模型(model),以此來做為評價分類器的性能指標。閔行區(qū)正規(guī)驗證模型優(yōu)勢訓(xùn)練集與測試集劃分：將數(shù)據(jù)集分為訓(xùn)練集和測試集，通常采用70%作為訓(xùn)練集，30%作為測試集。

實驗條件的對標首先，要將模型中的實驗設(shè)置與實際的實驗條件進行對標，包含各項工藝參數(shù)和測試圖案的信息。其中工藝參數(shù)包含光刻機信息、照明條件、光刻涂層設(shè)置等信息。測試圖案要基于設(shè)計規(guī)則來確定，同時要確保測試圖案的幾何特性具有一定的代表性。光刻膠形貌的測量進行光刻膠形貌測量時，通常需要利用掃描電子顯微鏡（SEM）收集每個聚焦能量矩陣（FEM）自上而下的CD、光刻膠截面輪廓、光刻膠高度和側(cè)壁角 [3]，并將其用于光刻膠模型校準，如圖3所示。

線性相關(guān)分析：線性相關(guān)分析指出兩個隨機變量之間的統(tǒng)計聯(lián)系。兩個變量地位平等，沒有因變量和自變量之分。因此相關(guān)系數(shù)不能反映單指標與總體之間的因果關(guān)系。線性回歸分析：線性回歸是比線性相關(guān)更復(fù)雜的方法，它在模型中定義了因變量和自變量。但它只能提供變量間的直接效應(yīng)而不能顯示可能存在的間接效應(yīng)。而且會因為共線性的原因，導(dǎo)致出現(xiàn)單項指標與總體出現(xiàn)負相關(guān)等無法解釋的數(shù)據(jù)分析結(jié)果。結(jié)構(gòu)方程模型分析：結(jié)構(gòu)方程模型是一種建立、估計和檢驗因果關(guān)系模型的方法。模型中既包含有可觀測的顯變量，也可能包含無法直接觀測的潛變量。結(jié)構(gòu)方程模型可以替代多重回歸、通徑分析、因子分析、協(xié)方差分析等方法，清晰分析單項指標對總體的作用和單項指標間的相互關(guān)系。將不同模型的性能進行比較，選擇表現(xiàn)模型。

簡單而言，與傳統(tǒng)的回歸分析不同，結(jié)構(gòu)方程分析能同時處理多個因變量，并可比較及評價不同的理論模型。與傳統(tǒng)的探索性因子分析不同，在結(jié)構(gòu)方程模型中，可以通過提出一個特定的因子結(jié)構(gòu)，并檢驗它是否吻合數(shù)據(jù)。通過結(jié)構(gòu)方程多組分析，我們可以了解不同組別內(nèi)各變量的關(guān)系是否保持不變，各因子的均值是否有***差異。樣本大小從理論上講：樣本容量越大越好。Boomsma（1982）建議，樣本容量**少大于100，比較好大于200以上。對于不同的模型，要求有所不一樣。一般要求如下：N/P〉10；N/t〉5；其中N為樣本容量，t為自由估計參數(shù)的數(shù)目，p為指標數(shù)目。記錄模型驗證過程中的所有步驟、參數(shù)設(shè)置、性能指標等，以便后續(xù)復(fù)現(xiàn)和審計。普陀區(qū)直銷驗證模型介紹

監(jiān)控模型在實際運行中的性能，及時收集反饋并進行必要的調(diào)整。普陀區(qū)直銷驗證模型介紹

結(jié)構(gòu)方程模型常用于驗證性因子分析、高階因子分析、路徑及因果分析、多時段設(shè)計、單形模型及多組比較等 。結(jié)構(gòu)方程模型常用的分析軟件有LISREL、Amos、EQS、MPlus。結(jié)構(gòu)方程模型可分為測量模型和結(jié)構(gòu)模型。測量模型是指指標和潛變量之間的關(guān)系。結(jié)構(gòu)模型是指潛變量之間的關(guān)系。 [1]1.同時處理多個因變量結(jié)構(gòu)方程分析可同時考慮并處理多個因變量。在回歸分析或路徑分析中，即使統(tǒng)計結(jié)果的圖表中展示多個因變量，在計算回歸系數(shù)或路徑系數(shù)時，仍是對每個因變量逐一計算。所以圖表看似對多個因變量同時考慮，但在計算對某一個因變量的影響或關(guān)系時，都忽略了其他因變量的存在及其影響。普陀區(qū)直銷驗證模型介紹

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