真空鍍膜機(jī)放氣閥形式介紹:(1)手動真空放氣閥:我國研制生產(chǎn)的真空鍍膜機(jī)手動真空放氣閥結(jié)構(gòu)形式多種多樣,通徑有φ3mm、φ30mm、φ60mm等,以滿足不同真空系統(tǒng)工作的需要。QF-5型充氣閥主要是用來對真空容器充入大氣或其他特殊氣體的,此閥結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,密封可靠,適合各種真空鍍膜機(jī)真空應(yīng)用設(shè)備配套之用。(2)手動超高真空安全放氣閥:該閥采用金屬密封,適用f超高真空系統(tǒng),主閥板關(guān)閉.起截止氣流作用,主閥板啟開,可向真空系統(tǒng)充氣,當(dāng)充入氣壓達(dá)到105~1.5×105Pa時(shí),旁路通導(dǎo)板起跳排氣,避免因充氣壓力過高而破壞真空容器,直到保護(hù)真空系統(tǒng)的作用。本閥適用的介質(zhì)為潔凈空氣或非腐蝕性干燥氣...
裝飾領(lǐng)域的真空鍍膜機(jī),一部分采用的是真空蒸發(fā)鍍膜法,真空蒸鍍是將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華,使之在工件或基材表面沉積的過程。是在真空室中加熱蒸發(fā)容器中待形成薄膜的原材料使其原子或分子從表面氣化逸出,形成蒸氣流入射到固體(稱為襯底或基片)表面凝結(jié)形成固態(tài)薄膜。關(guān)于蒸發(fā)源的形狀可根據(jù)蒸發(fā)材料的性質(zhì),結(jié)合考慮與蒸發(fā)材料的濕潤性,制作成不同的形式和選用不同的蒸發(fā)源物質(zhì)。真空蒸鍍有三層:底漆層(6~12um)+鍍膜層(1~2um)+面漆層(10um)裝配前處理。將基材表面雜質(zhì)、灰塵等用布擦拭干凈,提高噴射良率。將基材裝配在專屬掛具上,用以固定于流水線上,并按設(shè)計(jì)要求實(shí)現(xiàn)外觀和功能的遮鍍。通過加...
多弧離子真空鍍膜機(jī)鍍膜膜層不易脫落。由于離子轟擊基體產(chǎn)生的濺射作用,使基體受到清洗,啟動及加熱,既可以去除基體表面吸附的氣體和污染層,也可以去除基體表面的氧化物。離子轟擊時(shí)鏟射的加熱和缺陷可引起基體的增強(qiáng)擴(kuò)散效應(yīng)。多弧離子真空鍍膜設(shè)備鍍膜既提高了基體表面層組織結(jié)晶性能,也提供了合金相形成的條件。多弧離子真空鍍膜機(jī)由于產(chǎn)生良好的繞射性。多弧離子真空鍍膜設(shè)備鍍膜在壓力較高的情況下(≧1Pa)被電離的蒸汽的離子或分子在到達(dá)基體前的路程上將會遇到氣體分子的多次碰撞。多弧離子真空鍍膜機(jī)鍍膜還會在電廠的作用下沉積在具有負(fù)電壓基體表面的任意位置上。因此,這一點(diǎn)蒸發(fā)鍍是無法達(dá)到的。磁控濺射常用來沉積TSV結(jié)構(gòu)...
多弧離子真空鍍膜機(jī)與蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)、濺射真空鍍膜機(jī)相比,較大的特點(diǎn)是荷能離子一邊轟擊基體與膜層,一邊進(jìn)行沉積。荷能離子的轟擊作用所產(chǎn)生一系列的效應(yīng),主要有如下幾點(diǎn):多弧離子真空鍍膜機(jī)鍍膜鍍層質(zhì)量高。由于離子轟擊可提高膜的致密度,改善膜的組織結(jié)構(gòu),使得膜層的均勻度好,多弧離子真空鍍膜設(shè)備鍍膜鍍層組織致密,小孔和氣泡少。多弧離子真空鍍膜機(jī)鍍膜沉積速率高,成膜速度快,可制備30μm的厚膜。多弧離子真空鍍膜設(shè)備鍍膜所適用的基體材料與膜層材料均比較普遍。適用于在金屬或非金屬表面上鍍制金屬、化合物、非金屬材料的膜層。如在鋼鐵、有色金屬、石英、陶瓷、塑料等各種材料表面鍍膜。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積...
在顯示器件方面,錄象磁頭、高密度錄象帶以及平面顯示裝置的透明導(dǎo)電膜、攝像管光導(dǎo)膜、顯示管熒光屏的鋁襯等也都是采用真空鍍膜法制備。在元件方面,在真空中蒸發(fā)鎳鉻,鉻或金屬陶瓷可以制造電阻,在塑料上蒸發(fā)鋁、一氧化硅、二氧化鈦等可以制造電容器,蒸發(fā)硒可以得到靜電復(fù)印機(jī)用的硒鼓、蒸發(fā)鈦酸鋇可以制造磁致伸縮的起聲元件等等。真空蒸發(fā)還可以用于制造超導(dǎo)膜和慣性約束巨變反應(yīng)用的微珠鍍層。此外還可以對珠寶、鐘表外殼表面、紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等蒸鍍裝飾用薄膜,以及采用濺射鍍或離子鍍對刀具、模具等制造超硬膜。近兩年內(nèi)所興起的多弧離子鍍制備鈦金制品,如不銹鋼薄板、鏡面板、包柱、扶手、高級床托架、樓梯欄桿等目前正在...
使用等離子體增強(qiáng)氣相沉積法(PECVD)可在低溫(200-350℃)沉積出良好的氧化硅薄膜,已被普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體器件工藝當(dāng)中。在LED工藝當(dāng)中,因?yàn)镻ECVD生長出的氧化硅薄膜具有結(jié)構(gòu)致密,介電強(qiáng)度高、硬度大等優(yōu)點(diǎn),而且氧化硅薄膜對可見光波段吸收系數(shù)很小,所以氧化硅被用于芯片的絕緣層和鈍化層。評價(jià)氧化硅薄膜的質(zhì)量,較簡單的方法是采用BOE腐蝕氧化硅薄膜,腐蝕速率越慢,薄膜質(zhì)量越致密,反之,腐蝕速率越快,薄膜質(zhì)量越差。另外,沉積速率的快慢也會影響到薄膜的質(zhì)量,沉積速率過快,會導(dǎo)致氧化硅薄膜速率過快,說明薄膜質(zhì)量比較差。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。薄膜應(yīng)力的起源是薄膜生長過程中的某種結(jié)構(gòu)不完整性、表...