激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間...
激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具,能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序,能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度,反向間隙等其線性測長精度可達到±0.5ppm...
激光干涉儀的應用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用...
激光干涉儀laserinterferometer以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜...
激光干涉儀的注意事項:儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發(fā)霉。盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的...
激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術為關鍵,分辨率可達納米級;采用高精度環(huán)境補償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光長期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。...
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設備制造等領...
激光干涉儀組件:要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù),需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件,主要有:XL激光頭、三腳架和云臺、XC環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作...
激光干涉儀以其優(yōu)異的亞納米精度和精密度普遍應用于光學表面的評價,在精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設備制造等領域用途普遍。到激光干涉儀工作原理和一臺干涉儀所應具備的基本組構(gòu)。激光干涉儀是精度較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家...
激光干涉儀引力波探測器的基本光學結(jié)構(gòu):激光干涉儀引力波探測器是一種大型綜合性實驗裝置,由光學部分、機械部分、信號轉(zhuǎn)換部分和控制部分等組成。本質(zhì)上講,它應該是一臺超大型高精度的光學儀器,其光學部分的主體。激光器是激光干涉儀引力波探測器的光源[2],用于引力波探測...
激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領域應用普遍。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、...
激光干涉儀的維護:儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動時,應托住底座,以防導軌變形。2、光學零件不用時,應存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液...
多功能激光干涉儀:主要適用于測量光脈沖、電脈沖以及磁脈沖的信號,如測量光強和電壓隨時間變化的波形。因為它的響應速度極快,是微微秒(Ps)量級。所以,它非常適用于超快變電場和超短光脈沖信號變化的測量。已有技術主要有兩個方面。一是普通干涉儀,如一九八七年機械工業(yè)出...
激光干涉儀的應用:數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在,利用激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大...
現(xiàn)代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨特的性質(zhì):單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,普遍應用于各領域,已經(jīng)成為人類認知世界的重要工...
激光干涉儀在數(shù)控機床檢定中的應用:隨著數(shù)控機床應用的普及,采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設備等在線位置測量、誤差修正和控制,其中激光干涉儀應用比較多。與傳統(tǒng)的檢定方...
在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質(zhì)量的狀態(tài)進行實時控制,使干涉儀穩(wěn)定地保持鎖定狀態(tài)。光杠桿的工作原理如下:當干涉儀調(diào)整到初始工作狀態(tài)并鎖定之后,從激光器來的一束光射到鏡子背面選定的一個靈敏點上,經(jīng)過反射后進入到一個多單元光探測器內(nèi),輸出...
激光干涉儀laserinterferometer以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜...
激光干涉儀引力波探測器的工作原理:用干涉儀進行科學探測的基本原理是比較光在其相互垂直的兩臂中度越時所用的時間。當引力波在垂直于干涉儀所在的平面入射時,由于特殊的偏振特性,它會以四極矩的形式使空間畸變,也就是說,會以引力波的頻率,在一個方向上把空間拉伸,同時在與...
激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值,偏離我們的預估,以至于在高精度檢測時,對設備產(chǎn)生懷疑。因測量光學鏡組的安裝高度不在被測設備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生...
激光干涉儀以干涉技術為關鍵,其光波可直接對米進行定義??筛鶕?jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分...
Z軸激光光路快速準直方法具體調(diào)整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準槽,正對Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶),激光打在反...
激光干涉儀以其優(yōu)異的亞納米精度和精密度普遍應用于光學表面的評價,在精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設備制造等領域用途普遍。到激光干涉儀工作原理和一臺干涉儀所應具備的基本組構(gòu)。激光干涉儀是精度較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家...
激光干涉儀組件:要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù),需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件,主要有:XL激光頭、三腳架和云臺、XC環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作...
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設備制造等領...
隨著數(shù)控機床應用的普及,采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀測量原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過...
激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)Z終均與激光波長有關,因此激光器頻率的準確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準...
數(shù)控機床維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術,需要數(shù)控機床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的數(shù)控機床維修經(jīng)驗。因此,在日常數(shù)控機床維修中,如何盡快的找到故障原因并排除故障,提高設備完好率,是數(shù)控機床維修人員的首要任務。當出現(xiàn)機床精度異...
雙頻激光干涉儀:在氦氖激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光...
激光干涉儀的應用:數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析,導軌的動態(tài)特性(低速爬行)分析等。雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光...