激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以**的擴展；而且由于它的光束發(fā)散角小，能量集中，因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變?yōu)殡娪嵦?，并由計?shù)器一個不漏的記錄下來，從而提高了測量速度和測量精度，比如說我國自行設計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀，可以在20分鐘之內把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢，精度達到±0.2μm，這就是激光干涉儀的成功例證。廣泛應用：廣泛應用于材料科學、機械工程、光學測量、精密制造等領域。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保

按照干涉光來源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類， 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]； 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應用極為***，主要有如下幾方面：長度測量在雙光束干涉儀中，若介質折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動數(shù)可進行長度的精確比較或***測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。工業(yè)園區(qū)定制雙頻激光干涉儀維保雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器，廣泛應用于工程與技術科學領域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現(xiàn)幾何量的檢測，具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應用場景包括數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準等，通過與不同光學組件結合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術參數(shù)包括 [1]：標準量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%

經(jīng)M2反射的光三次穿過G2分光板，而經(jīng)M1反射的光通過G2分光板只一次。G1補償板的設置是為了消除這種不對稱。在使用單色光源時，可以利用空氣光程來補償，不一定要補償板；但在復色光源時，由于玻璃和空氣的色散不同，補償板則是不可或缺的。如果要觀察白光的干涉條紋，臂基本上完全對稱，也就是兩相干光的光程差要非常小，這時候可以看到彩色條紋；假若M1或M2有略微的傾斜，就可以得到等厚的交線處（d=0）的干涉條紋為中心對稱的彩色直條紋，**條紋由于半波損失為暗條紋。邁克爾遜和愛德華·威廉姆斯·莫雷使用這種干涉儀于1887年進行了***的邁克耳遜-莫雷實驗，并證實了以太的不存在。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業(yè)生產(chǎn)和科學研究中。

反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2，它們經(jīng)反射后回到G1（左）的半透半反射膜處，再分別經(jīng)過透射和反射后，來到觀察區(qū)域E。G2（右）為補償板，它與G1為相同材料，有相同的厚度，且平行安裝，目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等，兩束光在到達觀察區(qū)域E時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時，表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋，移動M2時,會不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時，中心就會“吐出”一個個條紋；反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時，則表現(xiàn)為等厚干涉條紋，移動M2時，條紋不斷移過視場中某一標記位置，M2平移距離 d 與條紋移動數(shù) N 的關系滿足：d=Nλ/2，λ為入射光波長。雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保

雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進行干涉測量的儀器。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保

折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進行實時觀察。波長的測量任何一個以波長為單位測量標準米尺的方法也就是以標準米尺為單位來測量波長的方法。以國際米為標準，利用干涉儀可精確測定光波波長。法布里-珀**涉儀（標準具）曾被用來確定波長的初級標準（鎘紅譜線波長）和幾個次級波長標準，從而通過比較法確定其他光譜線的波長。昆山耐用雙頻激光干涉儀維保

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