具體來說,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正弦函數(shù),變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步。通過讀數(shù)頭中的光電器件,可以將莫爾條紋轉(zhuǎn)換成正弦波變化的電信號,再經(jīng)過電路的放大和整形后,得到兩個相位差90度的正弦波或方波信號。這兩個信號的周期數(shù)與移動距離成正比,從而實現(xiàn)了對位移的精確測量。三、特點與優(yōu)勢高精度:光柵尺能夠提供微米級甚至納米級的測量精度,適用于各種高精度測量場合。穩(wěn)定性好:由于是基于光學(xué)原理進(jìn)行測量,光柵尺不易受到外界電磁干擾的影響,具有較高的穩(wěn)定性。安裝光柵尺傳感器時,不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上,更不能安裝在打底涂漆的機床身上。姑蘇區(qū)購買光柵尺量大從優(yōu)
1、位移傳感器安裝基面安裝光柵線位移傳感器時,不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上,更不能安裝在打底涂漆的機床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導(dǎo)軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上,移動工作臺,要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個要求,則需設(shè)計加工一件光柵尺基座?;笞龅剑孩賾?yīng)加一根與光柵尺尺身長度相等的基座(比較好基座長出光柵尺50mm左右)。②該基座通過銑、磨工序加工,保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外,還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時,調(diào)整讀數(shù)頭位置,達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。姑蘇區(qū)附近光柵尺維保定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動。
即衍射光柵在同一位置有不同級次的不同波長的光譜線。在寬波段范圍內(nèi)進(jìn)行高分辨率光譜研究或光譜分析工作時,光柵光譜的級次重疊是非常明顯的,必須采取有力的措施,把不需要的波段隔離掉或濾掉;例如,采用前置單色器、采用相應(yīng)波段的濾光片等。才能避免不需要級次光譜的干擾,才能保證紫外可見分光光度計的分辨率和分析測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。多級次性經(jīng)棱鏡色散后形成的光譜,只是按波長次序排列成一個單一的光譜。而經(jīng)衍射角光柵色散后形成的光譜,則是包含m=0,±1,±2,±3……所有級次光譜的總和。同一塊光柵對同一束入射復(fù)合光可在不同位置形成一系列不同級次的光譜;在m=0兩側(cè)有對稱分布的正級次光譜和負(fù)級次光譜。因此,光柵光譜的多級次性是原理性的、是本質(zhì)的,是不可避免的。光柵的這個特性,將對光柵的應(yīng)用產(chǎn)生許多相應(yīng)的問題,它會直接對紫外可見分光光度計的光譜分辨率和光譜的檢測造成困難,這是所有紫外可見分光光度計的設(shè)計者、制造者、使用者必須重視的問題。
二、電子細(xì)分與判向電路光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量。目前高分辨率的光柵尺一般造價較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,本系統(tǒng)采用了電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量,同量莫爾條紋又具有光學(xué)放大作用,其放大倍數(shù)為 :讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。
5、光柵尺線位移傳感器檢查光柵線位移傳感器安裝完畢后,可接通數(shù)顯表,移動工作臺,觀察數(shù)顯表計數(shù)是否正常。在機床上選取一個參考位置,來回移動工作點至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同(或回零)。另外也可使用千分表(或百分表),使千分表與數(shù)顯表同時調(diào)至零(或記憶起始數(shù)據(jù)),往返多次后回到初始位置,觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否一致。通過以上工作,光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環(huán)境來講,鐵屑、切削液及油污較多。因此,傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩,護(hù)罩的設(shè)計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定,護(hù)罩通常采用橡皮密封,使其具備一定的防水防油能力 [2]。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應(yīng)速度快的特點。姑蘇區(qū)附近光柵尺維保
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。姑蘇區(qū)購買光柵尺量大從優(yōu)
三、單片機與接口電路為實現(xiàn)可逆計數(shù)和提高測量速度,系統(tǒng)采用了193可逆計數(shù)器。假設(shè)工作平臺運行速度為v,光柵傳感器柵距為d,細(xì)分?jǐn)?shù)為N,則計數(shù)脈沖的頻率為:(2) 若v=1m/s,d=20μm,N=20,則f=1MHz,對應(yīng)計數(shù)時間間隔為1,顯然對于8031單片機系統(tǒng)的響應(yīng)為2μs是不能勝任的。經(jīng)可逆計數(shù)器分頻后,可**地提高測量速度。由于193是4位二進(jìn)制輸出,為與單片機接口,把兩片193采用了級聯(lián)的方式,這樣**多可計255個脈沖,若再來脈沖,進(jìn)位端或借位端將輸出一個脈沖送到單片機T0、T1端計數(shù),保證送到8031的信號不丟失。姑蘇區(qū)購買光柵尺量大從優(yōu)
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