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非接觸式測量:激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀,這對于測量易碎或精細的物體非常有用。多功能性:激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作??垢蓴_能力強:雙頻激光干涉儀對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。五、注意事項與維護注意事項:儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。在移動儀器時,應(yīng)托住底座以防止導(dǎo)軌變形。光學(xué)零件在不用時,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放以防止發(fā)霉。激光干涉儀廣泛應(yīng)用于精密測量、材料科學(xué)、光學(xué)研究、工程檢測等領(lǐng)域。姑蘇區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇
激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分,分別經(jīng)過不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣,從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個步驟:激光發(fā)射:激光器發(fā)出單色光束。光束分割:通過分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播:參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑,可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。相城區(qū)定制雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。
激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器,廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現(xiàn)幾何量的檢測,具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應(yīng)用場景包括數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學(xué)平臺校準等,通過與不同光學(xué)組件結(jié)合,可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月,激光干涉測量儀的技術(shù)參數(shù)包括 [1]:標準量程:0-40米測量精度:±0.5 ppm分辨率:1納米比較大速率:240米/分鐘角度測量精度:0.2%
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角2. 設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無線遙控傳感器**長的控制距離可到25米4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性5. 全套系統(tǒng)重量*15公斤,設(shè)計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性等。通過分析干涉條紋的變化,可以得到被測物體的位移信息。
多普勒效應(yīng):當測量鏡移動時,測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|,該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測:光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號,經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移。二、主要特點精度高:雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量,即使不做細分也可達到微米(μm)量級,細分后更可達到納米(nm)量級。應(yīng)用范圍廣:雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量,配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。在科學(xué)研究和工業(yè)檢測中,干涉儀是一種非常重要的工具。姑蘇區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇
激光發(fā)射:激光器發(fā)出單色光束。姑蘇區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇
干涉儀是一種使用干涉測量技術(shù)的光學(xué)計量儀器,其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息,從而獲得實驗所關(guān)心的物理量。以下是對干涉儀的詳細介紹:一、基本原理具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化,從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù),這種幅度的變化有時候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋,即干涉條紋?;緲?gòu)成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏(或檢測器)等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過分束器被分成兩束,分別經(jīng)由反射鏡反射回來,并在干涉屏(或檢測器)上產(chǎn)生干涉圖樣。其中,各元件的功能如下:姑蘇區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇
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