（5）數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè) 利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等。5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：1. 線性：0.5ppm .2. 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。常熟通用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

干涉儀是很***的一類(lèi)實(shí)驗(yàn)技術(shù)的總稱， 其思想在于利用波的疊加性來(lái)獲取波的相位信息， 從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學(xué) (Thompson et al, 2001) [1]， 光學(xué)， 工程測(cè)量， 海洋學(xué)， 地震學(xué)， 波譜分析， 量子物理實(shí)驗(yàn)， 遙感， 雷達(dá)等等精密測(cè)量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用（Hariharan， 2007） [2]。具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化， 從而可以通過(guò)測(cè)量較容易測(cè)量的振幅來(lái)獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動(dòng)在一點(diǎn)處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動(dòng)為相城區(qū)定制雙頻激光干涉儀維保干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時(shí)相互疊加，形成新的波形的現(xiàn)象。

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大，即使光強(qiáng)衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。因此，它既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用，也可在普通車(chē)間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高：現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至達(dá)到十幾m/s，適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測(cè)量：用于長(zhǎng)度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測(cè)量。同時(shí)，既支持幾十米大量程的檢測(cè)（如大型機(jī)械），也可對(duì)手表零件等微米級(jí)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。

這種無(wú)規(guī)則的變化較難通過(guò)觸發(fā)電平的自動(dòng)調(diào)整來(lái)補(bǔ)償，因而限制了單頻干涉儀的應(yīng)用范圍，只有設(shè)法用交流測(cè)量系統(tǒng)代替直流測(cè)量系統(tǒng)才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點(diǎn)。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn)，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器，所不同者，一方面是當(dāng)可動(dòng)棱鏡不動(dòng)時(shí)，前者的干涉信號(hào)是介于**亮和**暗之間的某個(gè)直流光平，而后者的干涉信號(hào)是一個(gè)頻率約為1.5MHz的交流信號(hào)；法布里-干涉儀：由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發(fā)明，主要用于高精度的光譜分析。

按干涉光來(lái)源區(qū)分：分為波前分解干涉儀和幅度分解干涉儀。波前分解干涉儀利用波前上不同位置的子波源形成干涉，如楊氏雙縫干涉；而幅度分解干涉儀則通過(guò)界面部分反射等方式將一束入射光分為兩束或多束形成干涉，如斐索干涉儀、邁克爾遜干涉儀和法布里-珀**涉儀等。四、應(yīng)用干涉儀在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用，包括但不限于：光學(xué)測(cè)量：用于測(cè)量光波的波長(zhǎng)、頻率和相位差。材料科學(xué)：用于分析材料的折射率、厚度和表面形貌。生物醫(yī)學(xué)：用于顯微鏡成像、生物傳感和醫(yī)學(xué)診斷。天文學(xué)：用于測(cè)量星體的直徑等。隨著激光技術(shù)和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展，雙頻激光干涉儀的應(yīng)用范圍和測(cè)量精度將不斷提高。相城區(qū)定制雙頻激光干涉儀維保

通過(guò)分析干涉條紋的變化，可以得到被測(cè)物體的位移信息。常熟通用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。英文名稱：laser interferometer（激光干涉儀）常熟通用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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