酷爾森的干冰清洗已成為半導體制造業(yè)中不可或缺的精密清潔解決方案。它以其非研磨、干燥、無殘留、非導電、高效、環(huán)保的特點,完美契合了半導體行業(yè)對超高潔凈度、無損清潔、減少停機時間的**需求。特別是在維護價值數(shù)百萬美元的關(guān)鍵制程設(shè)備(如光刻機、CVD/PVD/蝕刻腔體)方面,干冰清洗技術(shù)顯著提高了設(shè)備的可靠性和產(chǎn)能,降低了總體運營成本,保障了芯片制造的良率和質(zhì)量。隨著半導體技術(shù)向更小節(jié)點發(fā)展,對清潔的要求只會更加嚴苛,干冰清洗的重要性將持續(xù)提升。非研磨性:干冰顆粒在撞擊瞬間升華(固態(tài)直接變氣態(tài)),不磨損被清潔的精密表面(如拋光過的晶圓臺、光學元件、精密模具、鍍膜表面),保護設(shè)備精度和壽命。完全干燥:清潔過程無水、無化學溶劑,避免了水分殘留導致的腐蝕、短路、氧化等問題。這對濕度敏感的電子元件和設(shè)備至關(guān)重要。無需后續(xù)干燥步驟,縮短工藝時間。無二次污染:干冰是食品級二氧化碳固體,噴射后***殘留物是被去除的污垢本身(需抽走)。不引入新的化學殘留物或介質(zhì)殘留,滿足半導體行業(yè)對潔凈度的嚴苛要求(如達到Class 1潔凈室標準)。避免了化學清洗劑的購買、存儲、使用、廢液處理等環(huán)節(jié),更環(huán)保安全。干冰清洗是一種干式工藝,無需在標色水線上使用水溶液或化學溶液。吉林無污染干冰清洗機銷售
汽輪機葉片/氣缸清洗汽輪機通過蒸汽動能轉(zhuǎn)化為機械能,葉片、氣缸內(nèi)壁若積累水垢(硅酸鹽、碳酸鹽)、油污、蒸汽夾帶的雜質(zhì),會導致:蒸汽流通面積減小,機組效率下降(結(jié)垢厚度每增加0.1mm,效率降低1%-2%);葉片動平衡被破壞,引發(fā)振動(振幅超過0.05mm時可能觸發(fā)停機保護)。傳統(tǒng)清洗的痛點:機械刮削易損傷葉片表面(汽輪機葉片多為**度合金,表面光潔度要求Ra0.8以下);化學酸洗(如檸檬酸清洗)會腐蝕金屬基體,產(chǎn)生氫脆風險,且廢液處理成本高(每噸廢液處理費用超100元)??釥柹璫oulson干冰清洗的解決方案:低溫脆化除垢:干冰(-78.5℃)瞬間降低水垢溫度,使其從韌性變?yōu)榇嘈?,再通過高速(300-500m/s)沖擊剝離,不損傷葉片的金屬表面或涂層;針對性適配:根據(jù)結(jié)垢硬度調(diào)整干冰顆粒大?。ㄈ?-3mm顆粒用于厚垢,0.5mm以下用于精密葉片),確保清潔同時保護設(shè)備;案例參考:某300MW火電機組汽輪機葉片結(jié)垢后,干冰清洗*用8小時完成清理,機組出力恢復至額定值,年增發(fā)電量約500萬千瓦時。廣東進口干冰清洗機代理商干冰清洗121年歷史露天大雕塑,快速去除陳舊污垢,守護文化瑰寶!
酷爾森的干冰清洗(干冰噴射清洗)在芯片行業(yè)的應用已成為提升制造良率、保障設(shè)備穩(wěn)定性的關(guān)鍵技術(shù),尤其契合半導體制造對超高潔凈度、無損清潔和環(huán)保性的嚴苛需求。以下從**應用場景、技術(shù)優(yōu)勢、創(chuàng)新工藝及經(jīng)濟效益四個維度綜合分析其應用價值:前道工藝設(shè)備維護刻蝕設(shè)備腔體清洗:去除CVD/PVD/蝕刻設(shè)備腔室內(nèi)壁、氣體噴頭、電極表面的聚合物殘留和金屬沉積物(如氮化硅、二氧化硅),無需拆解設(shè)備,停機時間縮短50%以上。光刻機光學元件清潔:去除鏡頭、掩模版臺上的光刻膠殘留,避免傳統(tǒng)溶劑損傷精密光學涂層。離子注入機與拋光機:清潔束流線、拋光墊下方漿料凝結(jié)物,防止微粒污染晶圓。后道封裝與電路板處理封裝模具清洗:高效去除芯片封裝模具殘留的環(huán)氧樹脂和封裝塑料。通過預加熱模具(100–200℃)降低污染物黏附力,配合干冰噴射實現(xiàn)無損清潔,避免高壓水槍導致的銹蝕或噴砂造成的精度損失。電路板(PCBA)清洗:去除焊渣、助焊劑殘留及油脂,尤其適用于敏感元件(如BGA芯片、微型電容),避免溶劑腐蝕或靜電損傷。電磁屏蔽層預處理:去除封裝切割過程中附著在側(cè)壁的銅顆粒,提升屏蔽涂層附著力,防止電磁干擾失效。
酷爾森的雪花干冰清洗機在汽車噴涂行業(yè)的特定價值點提升涂層質(zhì)量: 提供更潔凈、更具活性的表面,極大提高新涂層的附著力,減少因表面污染導致的涂層缺陷(如魚眼、縮孔、剝落)。延長設(shè)備壽命: 減少磨料或化學品對精密設(shè)備的腐蝕和磨損,延長機器人、噴槍、模具、夾具的使用壽命。降低綜合成本:節(jié)省處理化學廢液和固體磨料廢渣的高昂成本。減少因清洗導致的停機時間損失。減少因表面處理不良導致的返工和報廢。降低水資源消耗和水處理成本。減少個人防護設(shè)備(PPE)和通風成本(相比溶劑清洗)。提高生產(chǎn)靈活性: 快速響應生產(chǎn)需求,縮短模具切換和設(shè)備維護時間。滿足高質(zhì)量和環(huán)保要求: 幫助主機廠和零部件供應商滿足OEM對涂層質(zhì)量和環(huán)保日益嚴苛的標準。干冰清洗用于清洗模具和設(shè)備上的各種材料,包括密封劑和粘合劑、泡沫絕緣材料、油脂和積碳、碳纖維殘留物。
發(fā)電設(shè)備檢修鍋爐與熱回收系統(tǒng):泰國TriEnergy發(fā)電廠的700MW機組中,酷爾森coulson干冰清洗去除熱回收蒸汽發(fā)生器(HRSG)管路銹蝕與渣垢,傳熱效率恢復15%,背壓***降低。水輪發(fā)電機維護:長江電力研發(fā)的表面涂層檢測裝置,可預判干冰清洗對定轉(zhuǎn)子涂層的損傷程度,結(jié)合拉力測試優(yōu)化參數(shù),避免涂層剝離風險。余熱發(fā)電鍋爐:如保定曲陽公司通過招標采購干冰清洗服務(wù),解決鍋爐積灰導致的效能下降問題。技術(shù)原理與創(chuàng)新設(shè)計清洗機制:干冰顆粒(-78.5℃)在高壓氣流加速下撞擊表面,通過三重作用去除污垢:沖擊剝離:動量沖擊使污垢脫落;低溫脆化:極冷使油污脆化;升華膨脹:干冰氣化瞬間膨脹,產(chǎn)生微爆效應。安全防護創(chuàng)新:絕緣設(shè)計:機器人/無人機外殼采用玻纖復合材料,干冰噴槍全程絕緣;參數(shù)自適應:三峽集團研發(fā)的便攜裝置集成多場景清洗模式,通過人機界面預設(shè)參數(shù)(如壓力、顆粒比例),防止誤操作損傷設(shè)備。干冰清洗提高了清洗效果,使核設(shè)施達到高效的運行效率。四川ICE干冰清洗機價目表
干冰清洗是一種更有效的清洗解決方案,能夠在線清洗,無需使用化學品,不會造成損壞,延長了設(shè)備使用壽命。吉林無污染干冰清洗機銷售
超臨界雪花清洗技術(shù)利用干冰在撞擊時轉(zhuǎn)變?yōu)槌R界態(tài)(擴散力為液體的100倍),滲透至<1μm的微孔結(jié)構(gòu)中溶解有機物,適用于3nm以下先進制程6。智能參數(shù)控制系統(tǒng)碾冰間隙(2–3mm)、供氣壓力(0.3–0.9MPa)、噴射角度(垂直90°)等參數(shù)按污染程度動態(tài)調(diào)整,提升清洗精度。集成輔助支架與溫控模塊,實現(xiàn)封裝模具原位加熱清洗。自動化集成方案例如龍門式檢測清洗一體機,通過CCD定位缺陷→干冰雪噴射→AOI復檢,將除塵效率提升至99.9%,人力成本降低70%。成本節(jié)約:較化學清洗降低70–80%耗材成本,減少2/3人力投入。產(chǎn)能提升:設(shè)備原位清洗將維護停機時間縮短60%,光刻機年均增產(chǎn)15%。綠色制造:契合半導體行業(yè)碳中和目標,無廢水/廢氣排放。隨著芯片制程邁向2nm及以下,干冰清洗在GAA晶體管、硅光子器件等新興領(lǐng)域的需求將持續(xù)增長,技術(shù)焦點將集中于亞微米級定向清洗和AI參數(shù)優(yōu)化系統(tǒng)的深度融合??涛g/沉積腔室、噴頭、電極聚合物、金屬氧化物免拆機維護,減少停機??芯片封裝模具凹槽、引線框環(huán)氧樹脂、封裝塑料加熱+噴射,無損去除??電路板組裝BGA焊點、微型電容焊渣、助焊劑非導電性,防短路?光學傳感器CMOS表面亞微米灰塵非接觸式,避免物理損傷吉林無污染干冰清洗機銷售